Occasion EBARA Frex 300 #9008491 à vendre en France
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Vendu
ID: 9008491
Taille de la plaquette: 12"
Style Vintage: 2002
CMP system, 12"
FREX300, Ox, STI, BPSG, POLY:
MPTI Head, 12"
Ceramic Tables/Tool
Buff Tables/Tool
Atomizer
Scan Dresser/Tool
MPM
Main Table:
Four Line Slurry Supply
Slurry Flow Range -250 mL/min
Buff Table:
(2) Slurry Lines
Chemical Line in Polisher Type-Lifter, Pusher, Turn Over
1st Cleaner Mega-sonic 1 (Swing type)
Loadport / FOUP Asyst300FLS3 / Entegris
Carrier ID / Wafer ID TIRIS model MPT17 RF tag / SEMI T7 dot Matrix, SEMI M12/13 OCR, SEMI T1-95
C-2220-099-0001 Air Operation Valve
C-2220-032-0001 Air Operation Valve
Tube
Misc Parts
(2) RECM1
System hardware
Slip out sensor
(2) AI Head G2S
Base System
Options:
MC/TOOL
S-OPM
(2) Tables
NOVA 3030 Dry
2002 vintage.
EBARA Frex 300 est un équipement professionnel de broyage, de rodage et de polissage des plaquettes. Il est conçu pour traiter les applications les plus difficiles de traitement de surface avec une combinaison de broyage avancé, de rodage et de polissage. Le système utilise une unité modulaire brevetée multi-axes qui permet à l'utilisateur de personnaliser sa machine de traitement des plaquettes pour qu'elle soit adaptée à ses besoins spécifiques. L'outil EBARA FREX-300 est configuré avec un entraînement robuste de broche avec des mouvements simultanés et des opérations de broyage, de rodage et de polissage pouvant accueillir jusqu'à 200 mm de plaquettes. Il utilise une gamme avancée de fixations, d'outils et d'algorithmes qui permettent un usinage plus rapide et plus efficace. Il comprend également un ensemble complet de mesures qui peut être utilisé pour effectuer un certain nombre de tâches analytiques liées au traitement des plaquettes. F-REX300 dispose également d'une suite de meules diamantées puissantes et d'autres outils qui fournissent un traitement efficace et précis des plaquettes. L'actif utilise un modèle de refroidissement unique et de haute qualité pour assurer des performances constantes et prévenir la surchauffe pendant les opérations de broyage, de rodage et de polissage. En outre, une gamme de polis spécialisés sont disponibles qui hors-performance des polis traditionnels en termes de qualité de surface. En outre, l'équipement est équipé d'un ensemble de contrôle de processus avancé qui permet au système de contrôler et de surveiller avec précision les opérations de broyage, de nappage et de polissage. Cela permet des performances constantes et de haute qualité et un gaspillage minimal. De plus, une unité de visualisation de processus avancée est disponible en option pour visualiser et analyser le processus d'usinage. La machine F-REX 300 est un outil puissant et avancé qui est idéal pour traiter les surfaces de plaquettes les plus difficiles. Il est conçu pour rendre le traitement des plaquettes plus rapide, plus efficace et plus économique, ce qui en fait un excellent choix pour les opérations de traitement des plaquettes de précision.
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