Occasion EBARA Frex 300 #9017351 à vendre en France
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ID: 9017351
Taille de la plaquette: 12"
Style Vintage: 2004
Poly / STI CMP system, 12"
Factory Interface (FI):
Frame config: metro ready
Load-port type: (4) Asyst ISO
Pre-aligner
Wafer handling robot: track type with dual end effecter
Polisher (L/R):
Process (L/R): STI
Polishing heads: 300 mm AL head, gen. II
Endpoint: TCM and friction
Platen type (speed): ceramic (SIC), 10-150 rpm
Pad type: IC1000
Platen pad conditioner: scan dresser 4” disc (3M 5122-AB), sweep driven
Slurry delivery: closed loop (CLC) delivery
Slurry flow range: 25-250 mL/min (low flow rate)
Slurry line 1: HS-8800
Slurry line 2: none
Slurry line 3: none
Wafer slip-out sensor: yes
Wafer loss camera: no
Platen cooling flow monitor: Tokyo KEISO
Platen cooling temp monitor: user configurable alarm settings
Dresser DIW flow meter: flow range 1.0-1.5 L/min
Atomizer: yes
Endpoint (L/R):
Table current monitor (TCM): yes
Multi-process monitor ME20 for EPD: yes
Metrology option: none
Cleaner (L/R):
Cleaner 1 type: roller brush
¬ Note: no megasonic
¬ Chem. delivery type: (1) chem CLC 0.0-1.0 L/min (alarm capability)
¬ Chemical 1 upper flow meter: 0.0-1.0 L/min
¬ Chemical 1 lower flow meter: 0.0-1.0 L/min
¬ Chemical line 1: HF
¬ Chemical line 2: n/a
¬ Bevel edge cleaning: yes
Spin rinse dryer: pencil brush
¬ Chem delivery type: (1) chem CLC 0.0-1.0 L/min (alarm capability)
Options:
Robot D: Yaskawa
Robot R: Yaskawa
Robot L: Yaskawa
Status lamp (RYGB, front/rear)
Monitor 1: front
Monitor 2: L-side
Monitor 3: R-side
EPD monitor: R-side
Software:
Main SW ver: 7.5.02
CPU-1 (OS/9) ver: 7.5.02
CPU-2 (OS/9) ver: 7.5.00
Touch panel control ver: 7.5.00
Touch panel drawing ver: 7.5.00
Online ver: 7.5.00
ME10/ME20 ver: 2.4.30.0
Communication:
Controller (logic): VME
Controller (process database): touch panel
Heat exchanger / chiller:
(1) Advanced Thermal Sciences SX-21
Facility:
Seismic support: bracket locations to be provided
Chemical connections: bottom
Exhaust connections: top
Gas connections: bottom
Drain connections: bottom
Power requirements: 208 VAC (3.4 kW) , 200 A, 3 phase, 3 wire+ground, 60 Hz
2004 vintage.
EBARA Frex 300 est un équipement de broyage, de rodage et de polissage de plaquettes capable d'obtenir des résultats supérieurs à des cadences de production élevées. Ce système automatisé est conçu pour exécuter des plaquettes jusqu'à 300 mm de diamètre, produisant efficacement et de façon fiable des résultats supérieurs avec une précision de 1 micron ou moins. L'unité utilise des techniques d'enlèvement de matériaux pour atteindre les plus hauts niveaux de finition de surface. Il peut traiter simultanément un certain nombre de substrats et dispose de paramètres de processus intégrés pour une grande variété de plaquettes. La machine est contrôlée par une interface utilisateur graphique (interface graphique) qui facilite le fonctionnement et le réglage. Lorsqu'il est utilisé en combinaison avec le broyage ELID (électrolytique en cours de fabrication), EBARA FREX-300 est capable d'atteindre des taux d'élimination élevés sur de nombreux types de substrat. Ce procédé utilise une meule de diamant fixe pour enlever le matériau, puis un tampon abrasif non rotatif pour niveler et terminer la pièce. Il en résulte un niveau de planéité surfacique amélioré par rapport aux méthodes de broyage classiques. F-REX300 est équipé d'un changeur de broche automatisé, permettant une transition rapide entre différentes plaquettes et différents processus. Cet outil utilise une large gamme de broches et d'outils pour répondre aux besoins de diverses exigences de production. Le changeur de broche est programmable et peut passer d'une opération à l'autre rapidement et avec précision. L'actif a un modèle d'autodiagnostic pour vérifier les erreurs, et une alarme visuelle pour aider à identifier rapidement les problèmes. Les mesures de sécurité intégrées sont conçues pour protéger l'équipement des dommages et s'assurer qu'aucun dommage n'est causé aux plaquettes. FREX-300 est également conçu pour être économe en énergie et est capable de réaliser des économies d'énergie significatives grâce à l'utilisation de moteurs efficaces et de systèmes de contrôle avancés. Dans l'ensemble, EBARA F-REX300 est un système avancé de broyage, de rodage et de polissage des plaquettes capable de produire des résultats supérieurs avec une excellente précision et répétabilité. Cette unité est un choix idéal pour les applications à haut volume et fournit aux utilisateurs une solution efficace, fiable et rentable à leurs besoins de production.
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