Occasion EBARA Frex 300 #9142699 à vendre en France

EBARA Frex 300
ID: 9142699
Taille de la plaquette: 12"
Tungsten CMP system, 12".
EBARA Frex 300 est un équipement de broyage et de polissage des plaquettes de précision qui est conçu pour un large éventail d'exigences de traitement. Ce système utilise un mécanisme de mouvement oscillant qui permet un broyage et un polissage des plaquettes très efficaces. La conception est capable de fournir une précision de répétition inférieure à 1 micron. L'unité dispose également d'un contrôle de vitesse entièrement variable de 0 à 60 tr/min. EBARA FREX-300 convient pour différents types et tailles de plaquettes, allant de 200mm à 300mm. Il est conçu pour pouvoir traiter une gamme de matériaux tels que Si, GaAs, GaN, GaSb, InP, InSb et carbure de silicium (SiC). Il est également compatible avec différentes meules et différents matériaux pour le polissage, tels que les boues de diamant, les tampons de polissage, les pellicules et les micro-abrasifs. F-REX300 est équipé d'un puissant variateur de fréquence et d'une unité descendante pour maintenir le couple maximal à tous les RPM. Cette machine assure un broyage cohérent et efficace et évite également de surcharger la plaquette. Il comprend un outil hydraulique à vitesse variable pour un positionnement rapide et précis des plaquettes. L'actif dispose également d'une sortie pour contrôler un modèle de refroidissement externe. F-REX 300 a une géométrie de cadre conçue pour minimiser les vibrations et maintenir la planéité de la surface des plaquettes. Cet équipement est équipé d'un porte-substrat, d'une tête de couchage et d'un bras de meulage pour un broyage et un couchage efficaces des plaquettes. Il est conçu avec plusieurs caractéristiques de sécurité, comme un E-stop intégré pour arrêter rapidement la machine, en cas de problème. Dans l'ensemble, EBARA F-REX300 est un système fiable et efficace de broyage, de nappage et de polissage des plaquettes de précision. Il est capable de traiter efficacement une variété de tailles de plaquettes et de matériaux avec une précision de répétition inférieure à 1 micron. De plus, l'unité est conçue avec plusieurs caractéristiques de sécurité pour assurer un environnement de fonctionnement sûr.
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