Occasion EBARA Frex 300 #9163556 à vendre en France
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ID: 9163556
Taille de la plaquette: 12"
Style Vintage: 2001
CMP System, 12"
Process (W): Tungsten
Load- port
Polisher R/L
Cleaner
Dryer
Does not include Hard Disk Drive (HDD)
2001 vintage.
EBARA Frex 300 est un équipement automatisé de broyage, de rodage et de polissage de plaquettes produit par EBARA Corporation. C'est une machine de banc conçue pour la manipulation de petites tailles de plaquettes, permettant aux clients de profiter de la technologie avancée de processus d'abrasion d'EBARA Group. EBARA FREX-300 peut broyer, napper et polir même des plaquettes sensibles à la chaleur et difficiles à manipuler avec une finition de surface supérieure et une déformation minimale. F-REX300 est doté d'une tablette équipée d'un bras robotique pour un fonctionnement rapide et précis. Le bras peut basculer de la base pour obtenir les meilleurs angles de broyage pour une variété de matériaux et de tailles de plaquettes. Le F-REX 300 comprend également une chambre de serrure qui maintient la pression atmosphérique et empêche la contamination pendant le processus. Le broyage se fait à l'intérieur d'un contenant en acier inoxydable scellé qui utilise une bouillie abrasive contrôlée avec précision pour broyer la surface de la plaquette à la finition de surface désirée. L'alimentation en lisier et la vitesse de rotation du coussin de broyage sont réglables, ce qui permet des stratégies de broyage et de polissage polyvalentes. De plus, le couvercle supérieur du lit de meulage peut être facilement fermé et monté avec plusieurs accessoires sous vide. Cela aide à créer un environnement sûr tout en maximisant la qualité de finition de surface. Le processus de rodage se fait au sein d'un système en boucle fermée où la surface de rodage est contrôlée avec précision. L'unité a la capacité de classer les plaquettes en fonction de la finition de surface après le processus de rodage. En utilisant le contrôle des fluides, le processus de nappage peut obtenir un polissage simple ou double face de la plaquette ainsi que plusieurs cycles de nappage. Le processus de polissage est effectué avec l'alimentation en fluide réglable et le dosage. Frex 300 a conçu une chambre de polissage scellée pour éviter toute contamination pendant le processus de polissage. Il peut également être actionné avec ou sans vide pour éliminer les particules indésirables de la surface. EBARA F-REX 300 est une machine idéale pour le broyage, le nappage et le polissage des plaquettes qui offre une finition de surface supérieure et une déformation minimale. Il permet aux clients de profiter de la technologie de procédé d'abrasion avancée de la Société EBARA innovante.
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