Occasion EBARA Frex 300 #9182740 à vendre en France

EBARA Frex 300 est un équipement de broyage, de rodage et de polissage de plaquettes semi-conductrices conçu pour le traitement contrôlé du côté arrière sur des plaquettes jusqu'à 6 "de diamètre. Le système est équipé d'une meule principale de 320 mm, d'unités d'asservissement mono-axe et de deux mandrins à vide de 6 ". Son procédé de meulage unique utilise une roue abrasive diamantée qui est capable de moduler les facteurs de processus tels que la profondeur de coupe, la vitesse d'alimentation et la densité pour obtenir une excellente planarisation sur la plaquette. L'unité utilise une conception de meule unique avec la technique de fraisage de butée qui fournit une force de contact uniforme sur la plaquette, conduisant à des temps de meulage efficaces. Le processus de rodage est contrôlé par une machine d'entraînement direct qui synchronise avec précision les deux mandrins à vide de 6 ". Il dispose d'un outil d'entraînement de boucle basse vibration avec un moteur d'asservissement automatique en boucle fermée qui optimise le processus de rodage en fonction de la taille de l'échantillon. Le procédé de nappage produit une finition de surface de haute qualité avec une texture de surface contrôlée, fournissant une excellente planarité et la définition des caractéristiques. Enfin, le procédé de polissage est réalisé sur la roue de polissage EBARA FREX-300 qui est entraínée par un servomoteur DC commandé par ECU. Il est capable de fournir un contrôle de pression précis et des performances dynamiques pour des surfaces de plaquettes spécifiques. En résumé, F-REX300 est un puissant outil de broyage, de rodage et de polissage de plaquettes qui offre une excellente planarité et une excellente définition des fonctionnalités. Il offre des performances et une précision fiables, grâce à son modèle d'entraînement en boucle à faible vibration, son servomoteur DC contrôlé par ECU et sa roue abrasive diamantée. L'équipement est conçu pour répondre aux exigences de l'industrie de fabrication de plaquettes semi-conductrices de haute précision.