Occasion EBARA Frex 300 #9224087 à vendre en France
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Vendu
ID: 9224087
Taille de la plaquette: 12"
Style Vintage: 2004
CMP System, 12"
Factory interface (FI)
Frame config: Metro
Polisher (L/R):
Polishing heads: 300mm AL Head, Gen. II
Endpoint: TCM & Friction
Platen type: Ceramic (SIC)
Platen speed: 10-150 RPM
Platen pad conditioner:
Scan dresser disc, 4”
Sweep driven
Slurry delivery: CLC Delivery
Slurry line 1: ASAHI 25-250 ml/min (Low flow rate)
Platen cooling flow monitor: TOKYO KEISO
Platen cooling temp monitor: User configurable alarm settings
Dresser DIW flow meter: Flow range 1.0-1.5 L/min
Atomizer
Cleaner:
Cleaner 1 type: Roller brush
Chemical delivery type: Chemical CLC 0.0-1.0 L/min (Alarm capability)
Chemical 1 Upper flow meter: 0.0-1.0 L/min
Chemical 1 Lower flow meter: 0.0-1.0 L/min
Spin rinse drier: Pencil brush
Chemical delivery type: Chemical CLC 0.0-1.0 L/min (Alarm capability)
Options:
Robot D / R / L: YASKAWA
Status lamp (RYGB, Front / Rear)
Monitor 1: Front
Monitor 2: Left side
Monitor 3: Right side
EPD Monitor: Right side
Communication:
Controller (Logic): VME
Controller (Process database): Touch panel
Hard disk not included
2004 vintage.
EBARA Frex 300 est un équipement de broyage, de nappage et de polissage de plaquettes qui est utilisé pour la production de plaquettes minces et plates pour l'industrie électronique. Le système fonctionne à l'aide de la technologie CNC avancée pour contrôler avec précision les processus de broyage, de rodage et de polissage. La première étape du procédé est le broyage de la plaquette, qui est effectué avec une roue à genoux. La roue dentée est entraînée par un moteur pas à pas de haute précision, qui permet des niveaux de meulage extrêmement précis. La deuxième étape est le rodage de la plaquette, qui se fait avec une plaque de rodage à billes. La vitesse et la pression du processus d'asservissement sont contrôlées par une unité d'asservissement sophistiquée, ce qui permet d'obtenir le résultat souhaité avec une qualité optimale. La troisième et dernière étape est le polissage de la plaquette, qui se fait avec un tampon de polissage au diamant. Le patin de polissage en diamant est entraîné par un moteur à courant continu sans brosse, ce qui permet un processus de polissage semi-automatisé. Le moteur est conçu pour améliorer l'efficacité du processus et fournir une finition de haute qualité. La machine est équipée d'un outil de vision qui permet de vérifier la forme et la finition de la plaquette. L'atout vision est intégré avec un modèle de commande de mouvement CNC de précision, qui permet une manipulation extrêmement précise de la plaquette. L'équipement CNC est également capable d'ajuster la vitesse des processus de broyage, de rodage et de polissage afin d'obtenir les résultats souhaités. EBARA FREX-300 est conçu pour fonctionner en toute sécurité, efficacement et avec une intervention minimale de l'opérateur. Le système est équipé de plusieurs dispositifs de sécurité, tels que des portes à verrouillage électronique, des boutons d'arrêt d'urgence et des systèmes sophistiqués de surveillance des machines. L'unité est également équipée d'une gamme de caractéristiques pour garantir des performances optimales, telles que des moteurs pas à pas de haute précision, des moteurs à courant continu brushless puissants, et des systèmes de commande de mouvement CNC de précision. F-REX300 dispose également d'une interface graphique conviviale, qui permet aux opérateurs d'ajuster et de peaufiner facilement les paramètres en fonction de leurs besoins.
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