Occasion EBARA Frex 300 #9390393 à vendre en France

EBARA Frex 300
ID: 9390393
CMP System.
EBARA Frex 300 est un équipement avancé de broyage, de rodage et de polissage de plaquettes conçu pour réaliser une préparation de plaquettes sans défaut, de haute précision et de haute uniformité. Les technologies innovantes du système offrent une combinaison de broyage de précision, de conditionnement de plaquettes peu endommagées pour une meilleure uniformité de surface et une intégration simple à d'autres étapes de traitement. En utilisant une série de contrôles de processus avancés et de techniques adaptatives de contrôle des frontières, cette unité réduira considérablement le temps de cycle total des processus de conditionnement des plaquettes. EBARA FREX-300 est équipé d'un étage mono-axe de 0,25 µm, commande en boucle fermée, support en trois points, machine à vide avancée, et plus encore. Cela permet un polissage de surface de haute précision et de haute précision, tout en améliorant le positionnement hors ligne des plaquettes et la répétabilité des processus. De plus, l'outil peut être automatisé pour des processus multi-étapes grâce à ses modules adaptatifs de broyage, de rodage et de polissage. Les principaux composants de l'actif comprennent une tête de broyage et de rodage, une tête de polissage, deux étages rotatifs manuels et deux étages motorisés, un film de polissage, un plateau et une solution de polissage. En combinant les têtes de broyage et de polissage avec les deux étages rotatifs manuels et motorisés, le modèle peut appliquer le film de polissage, la platine et la solution de polissage à la plaquette en même temps. Cela minimise le temps de cycle total et assure un conditionnement uniforme, de haute précision et de haute précision. F-REX300 dispose également d'un module de contrôle des frontières adaptatif unique. Ce module réduit efficacement le temps de cycle total en ajustant dynamiquement les limites des fenêtres de broyage, de rodage et de polissage en fonction des conditions de traitement des plaquettes. Cela garantit un conditionnement des plaquettes peu endommagées, une répétabilité des processus élevée et un positionnement hors ligne fiable des plaquettes. L'équipement peut être intégré dans une variété de procédés industriels tels que la gravure, la résilience, le revêtement et la lithographie. Tous ces processus peuvent être facilement mis en œuvre avec Frex 300. En outre, le module adaptatif de contrôle des frontières peut être un logiciel programmé pour contrôler les frontières des processus, ce qui permet à l'utilisateur d'automatiser complètement les processus. EBARA F-REX300 est un système avancé de broyage, de rodage et de polissage de plaquettes conçu pour fournir une grande précision et une excellente uniformité de surface, tout en assurant l'automatisation des processus. Son module de contrôle des limites adaptatif réduit à la fois le temps de cycle et les difficultés de processus, tout en optimisant le conditionnement des plaquettes. De l'ajustement des limites des processus au contrôle de processus multiples, FREX-300 est un excellent outil pour les utilisateurs à la recherche de résultats fiables et de pointe dans l'industrie.
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