Occasion EBARA Frex 300e #293821657 à vendre en France

EBARA Frex 300e
ID: 293821657
Taille de la plaquette: 12"
Chemical Mechanical Polishing (CMP) System, 12".
EBARA Frex 300e est un équipement de broyage, de rodage et de polissage de plaquettes de haute précision conçu pour la fabrication de dispositifs semi-conducteurs et des applications de déprocédage de précision. Le système offre la préparation de plaquettes à partir de plaquettes pour le traitement manuel ou automatisé avec une unité unique de commande de mouvement 6 axes dans une petite empreinte compacte. La machine est conçue avec un grincement de 3 pas, un recouvrement et un polissage du processus. La première étape consiste en un broyage de plaquettes avec une meule propriétaire, permettant une finition de surface fine. La deuxième étape est un processus de rodage, avec un mécanisme automatisé de distribution de lisier de diamant. La troisième étape est un procédé de polissage traité avec des poudres de diamant ultra-fines, pour obtenir une finition de surface sans défaut. En outre, l'outil Frex 300e est conçu avec un algorithme de contrôle de mouvement avancé, permettant un degré plus élevé de précision et un processus répétable de rectification, rodage et polissage. Cet algorithme avancé est également adapté pour le chargement/déchargement automatisé de plaquettes. De plus, l'actif permet une large gamme de broyage, de nappage et de polissage des plaquettes, y compris la préparation de surfaces ultra-lisses sur des matériaux diélectriques haut k. À des fins de sécurité et de maintenance, le modèle intègre un équipement PLC (Programmable Logic Controller) permettant la télécommande via une interface Ethernet. Cela permet un contrôle et une surveillance commode de l'ensemble du processus à partir d'un ordinateur central. Le système EBARA Frex 300e offre également une gamme de fonctionnalités pour améliorer la répétabilité et le contrôle du processus, y compris une unité de contrôle de température intégrée pour la surveillance de température constante pendant le processus de broyage et de polissage, pour améliorer les propriétés des matériaux. La machine offre également un outil de visualisation 3D en temps réel qui fournit une rétroaction visuelle de la plaquette pendant le processus de nappage et de polissage, contribuant à assurer un broyage précis et obtenir le rendement de processus le plus élevé. Dans l'ensemble, Frex 300e est un outil de broyage, de rodage et de polissage de plaquettes de haute précision conçu pour la fabrication de dispositifs semi-conducteurs et les applications de déprocédage de précision. Avec son algorithme de contrôle de mouvement avancé, une large gamme d'options de préparation de plaquettes, un contrôle de la température et des capacités de visualisation 3D, le modèle assurera des performances de processus accrues et des rendements améliorés.
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