Occasion EBARA Frex 300S #9245371 à vendre en France

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EBARA Frex 300S
Vendu
ID: 9245371
CMP System (4) Heads (4) Chambers.
EBARA Frex 300S est un équipement de broyage, de nappage et de polissage de plaquettes conçu pour fournir une finition de surface de précision pour le silicium et d'autres matériaux électroniques utilisés dans l'industrie des semi-conducteurs. Le système est construit selon des normes exigeantes et conçu pour fournir une excellente répétabilité des processus et un débit élevé. L'unité offre un équilibre délicat de broyage, de rodage et de polissage afin d'obtenir la précision de surface, la qualité de surface et les performances de l'appareil souhaitées. La machine se compose d'une broche de broyage/polissage, d'une installation de rodage, d'un plateau de rodage, de plaques de turbopropulseur et d'une tête de polissage. La broche est alimentée par un servomoteur qui assure un contrôle précis de la vitesse et du couple. Le dispositif de rodage est conçu pour maintenir le matériau en place de façon sûre et à l'angle requis pendant le processus de broyage. Le plateau de nappage sert à maintenir le substrat contre la surface de nappage pour assurer une qualité de surface uniforme. Les plaques turbo-spin offrent des capacités de polissage à grande vitesse, permettant des performances maximales. La tête de polissage est conçue pour une variété de matériaux, offrant une finition fine sur des substrats délicats. L'outil est équipé d'une gamme de fonctionnalités conviviales qui simplifient le broyage, le rodage et le polissage. Les caractéristiques comprennent un outil de surveillance et de contrôle intégré, un affichage de lecture numérique, l'enregistrement des données et des capacités de mesure d'interféromètre laser en option. Le modèle intégré de surveillance et de contrôle permet un contrôle précis du processus et une répétabilité optimale du processus. L'affichage de lecture numérique affiche graphiquement les paramètres du processus qui peuvent être ajustés au besoin. L'enregistrement des données fournit un enregistrement précis du processus et peut être utilisé pour analyser et affiner les processus futurs. Les capacités de mesure d'interféromètre laser en option offrent une précision supérieure aux méthodes manuelles. EBARA FREX300S est l'outil idéal pour fournir la finition de surface de haute précision requise pour les technologies avancées d'aujourd'hui. La combinaison des puissantes capacités de broyage, de rodage et de polissage et des fonctionnalités conviviales en font un outil précieux pour atteindre la précision et la qualité nécessaires pour les semi-conducteurs et autres composants électroniques.
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