Occasion EBARA Frex 300S #9300644 à vendre en France

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ID: 9300644
Taille de la plaquette: 12"
CMP System, 12" Process: Oxide Spin rinse dryer Load / Unload: TDX / TAS 300 E3 Load port Carrier: RFID ASYST Advantag (ATR9100) OHT AMHS E84 Sensor DMG-HB1-Z03 Top ring: (4) AL Head gil Main table: SiC A&B Line: 100-500 L/min C Line: 10-50 L/min Flow controller valve Atomizer Dresser: Type: Scan Table disc: A, B, C, D: Φ108.5 Screw Type KINK PDA329-NC (3) Cleaners: Fixed arm Type Nozzle Chemical line: 0.4-1.0 L/min Chemical flow meter: 1 Line / CL Bevel sponge Process monitor EPM Optical (S-OPM) R-ECM1 MPM (Integrated type monitor panel) ITM Power supply: AC 208 V, 60 Hz, 3 Phase.
EBARA Frex 300S est un équipement de broyage, de rodage et de polissage de plaquettes ultramoderne conçu pour produire des résultats de haute qualité et de précision avec un minimum de déchets et une efficacité maximale. Le système est idéal pour les applications qui nécessitent des dimensions extrêmement faibles, avec la capacité d'atteindre une épaisseur de puce allant de 70nm à 1500nm. EBARA FREX300S est une unité semi-automatique avec une chambre de meulage/rodage/polissage entièrement programmable, des servomoteurs pour le contrôle, de puissants moteurs à brosse sans brosse pour une grande précision et puissance, des entraînements à vitesse variable pour des opérations de chambre optimisées, de multiples recettes de processus, et les dernières technologies de contrôle PLC. La machine comprend 3 axes de mouvement pour le positionnement flexible de la plaquette à l'intérieur de la chambre, fournissant une grande variété de plans et de formes de plaquettes afin d'obtenir des résultats de la plus haute qualité. F-REX300S offre également un puissant outil de manutention automatique des plaquettes qui permet un chargement/déchargement rapide et facile des plaquettes et des stanchions pour une expansion facile. En outre, il dispose également d'une tête de broyage/rodage/polissage très avancée avec des RPM réglables et de multiples recettes de processus qui peuvent être configurés pour accueillir un large éventail de matériaux. FREX-300 S dispose d'une large gamme de capacités, lui permettant de traiter des matériaux allant des plaquettes de silicium, des plaquettes de quartz, des modules multi-puces, des SOIs et des plaquettes utilisées dans la production de MEMS, LED et autres dispositifs microélectroniques. Avec un design compact, il peut être utilisé à la fois dans les environnements de recherche et de production. Avec ses caractéristiques innovantes, sa précision et son efficacité supérieures, Frex 300S est le choix idéal pour produire des résultats de broyage, de nappage et de polissage de plaquettes de haute performance et de haute précision. C'est un outil essentiel pour toute ligne de production cherchant à maximiser l'efficacité et préparer des matériaux avec une précision et des résultats supérieurs.
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