Occasion EBARA Frex 300S2 #9237840 à vendre en France
Il semble que cet article a déjà été vendu. Consultez les produits similaires ci-dessous ou contactez-nous et notre équipe expérimentée le trouvera pour vous.
Appuyez sur pour zoomer
Vendu
ID: 9237840
Taille de la plaquette: 12"
Oxide CMP system, 12"
EFEM:
(4) SMIF TDK
(4) ASYST Load ports
YASKAWA Dry robot
Position control: Motor ball screw
Wafer transfer:
Transporter STP
(4) Pushers: A, B, C, D
(2) LTP: LTP-A & LTP-B
C-LTP
Turn over
Polishing unit:
Top ring:
(4) Retainer rings: SUS / PPS
(4) Head types: GII
Dresser:
(4) Disk types: Paradium coating
(4) Holder types: SEASOL (Magnetic)
(4) Scan disks
Table:
(4) Stainless steels
(4) Lapping surfaces
(4) YASKAWA Motors
Hardware:
Cleaner 1:
(2) Method: Roll scrub
MEGASONIC
Bevel sponge
SC-1 < 60°C
Cleaner 2:
(2) Method: Roll scrubs
Anti-static
Cleaner 3:
(2) Method: Roll scrubs
MEGASONIC
SC-1 < 60°C
Wafer roller:
(8) Hardness Duro90
ETC:
Position: Front, left, standalone
User interface: Touch panel, 15"
HMIPC Spec: Celeron 1.2 GHz
Recipe backup: FDD / MO / USB Port
End point monitor:
TCM:
(2) Controllers: ME-20
Data back up: USB Port
ITM Type: NANO 9010bxls
APC/CLC: BC&FS
(4) Atomizers
(4) Slip out sensors: CCD Camera
Utility:
D.I.W Connection
(4) Exhaust connections
Direction: Downward
Slurry delivery type: CLC.
EBARA Frex 300S2 est un équipement de broyage, de rodage et de polissage de plaquettes puissant et efficace. Ce système utilise une combinaison d'un rotor propriétaire et d'un stator pour créer une action de rectification/polissage unique. L'unité est conçue pour offrir un broyage de haute précision avec de faibles vibrations, un faible bruit, une grande efficacité de polissage, et la capacité de travailler avec une large gamme de types de plaquettes. EBARA F-REX300S2 permet aux utilisateurs de traiter des plaquettes d'un diamètre maximal de 300mm et d'un diamètre minimal de 150mm. La machine offre également aux utilisateurs un choix de deux modes de processus : le broyage et le polissage. Le rotor de broyage utilise un profil de chanfrein de 45 degrés pour enlever efficacement le métal de la surface de la plaquette. Cela permet la fabrication précise des faces des plaquettes ainsi que l'élimination efficace des micro-fourrures et des bavures. Le procédé de nappage est ensuite tourné pour créer la surface finale de polissage. Ceci se fait par l'introduction d'ions abrasifs chargés négativement qui sont attirés sur la surface positive de la plaquette. FREX-300 S2 utilise un entrefer réglable entre le rotor et le stator pour créer un profil de broyage et de polissage optimal. L'outil dispose également d'une option de paramétrage pour permettre un entretien rapide. La polyvalence de l'actif permet également aux utilisateurs d'ajuster la vitesse du processus, ainsi que le contrôle de pression pour créer la finition souhaitée. EBARA FREX-300 S2 dispose également d'un processus à faible vibration et à faible bruit pendant son fonctionnement. De plus, le modèle dispose d'un équipement de filtration à haute efficacité pour s'assurer que les contaminants sont éliminés pendant le processus. Frex 300S2 wafer broyage, nappage et polissage système est une unité efficace, polyvalente et puissante avec des fonctionnalités qui le rendent adapté à une grande variété d'applications. Il offre aux utilisateurs la possibilité de fabriquer avec précision des faces de plaquettes tout en éliminant les micro-fourrures et les bavures, le broyage et le polissage en deux modes de processus, et fonctionne avec de faibles vibrations et du bruit. Il est également conçu avec des entrefers réglables et des vitesses réglables et des réglages de contrôle de pression, permettant aux utilisateurs d'ajuster rapidement les réglages en fonction de leurs besoins uniques. En résumé, la machine EBARA FREX 300 S2 est un outil idéal pour les applications industrielles nécessitant un broyage et un polissage de haute précision et haute efficacité.
Il n'y a pas encore de critiques