Occasion EBARA Frex 300S2 #9298514 à vendre en France
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ID: 9298514
Taille de la plaquette: 12"
Style Vintage: 2007
CMP System, 12"
2007 vintage.
EBARA Frex 300S2 est un équipement polyvalent et performant pour le broyage, le rodage et le polissage des plaquettes. Il est conçu pour répondre aux exigences spécifiques des applications semi-conductrices et autres applications microélectroniques, y compris la préparation des plaquettes et des substrats, l'amincissement et le lissage post-processus. La conception de précision d'EBARA F-REX300S2 comporte une combinaison unique de caractéristiques avancées et d'éléments de conception. La chambre de travail est entièrement fermée et le fonctionnement est contrôlé par une interface utilisateur facile à utiliser. L'opérateur peut voir le processus de broyage et de polissage à travers la grande fenêtre. Le système de broyage intègre une plaque perforée ou plaque « Honeycomb » pour le broyage et le nappage de plusieurs plaquettes en un seul lot. Cela réduit le temps nécessaire pour traiter plusieurs plaquettes, même aux petites tailles de lots. La combinaison d'une porte de sécurité intégrée, de filtres ventilateurs et de serrures à air assure un environnement de fonctionnement sans poussière. L'unité de positionnement numérique des plateaux incluse avec chaque FREX-300 S2 assure une grande précision et un polissage extrêmement uniforme sur toutes les plaquettes et substrats. La machine des moteurs de broche individuels avec des entraînements directs de précision et le support à roulement à billes assure un couple optimal pour toutes les opérations de meulage et de polissage. Ces caractéristiques rendent EBARA FREX-300 S2 adapté au traitement de tous types de wafers, substrats et matériaux, y compris Si, GaAs et matériaux spécialisés. EBARA FREX 300 S2 intègre en outre des fonctions avancées de surveillance et de contrôle des processus, avec affichage en temps réel de tous les paramètres du processus, et des fonctions de correction des défauts et d'enregistrement des données. L'étalonnage automatisé de l'outil de rectification/polissage permet à l'utilisateur de se rappeler et de définir des paramètres pour différentes applications. L'actif comprend également un modèle d'asservissement PLC et AC pour la surveillance sensible et le contrôle des paramètres de processus pour une productivité et une précision maximales. Dans l'ensemble, le FREX 300 S2 est un équipement puissant, fiable et précis pour les opérations de broyage, de nappage et de polissage des plaquettes. Ses commandes évoluées, faciles à utiliser et son contrôle du mouvement de haute précision en font le choix idéal pour le traitement d'une variété de plaquettes et de substrats.
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