Occasion EBARA Frex 300S2 #9364502 à vendre en France

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ID: 9364502
Taille de la plaquette: 12"
Style Vintage: 2015
CMP System, 12" Polisher: (4) Turn tables (4) Top rings (GX 8-Area) (4) Scan dressers (4) Atomizers (2) Liner transportors (2) Turn overs STP Controller (4) Slurry scan nozzles (4) Wafer slip out sensors (2) Operation panels Cleaner: R/R With megasonic jet (2) R/R IPA/SRD EFEM: Dry robot (4) Loadports (2) Operation panels ITM NOVA Slurry nozzle motor type Auto Calibration Options: GX Carrier Anti static material for wafer exposed surface Eddy current end point monitor (R-ECM1D) (2) ME-30 for S-OPM TCM EPD Controller Malema slurry flow controller Light curtain for EFEM Camera 2015 vintage.
EBARA Frex 300S2 est un équipement de broyage, de nappage et de polissage de pointe multifonctionnel conçu pour produire des plaquettes de haute précision et de haute qualité. Il est doté d'une tête de polissage brevetée à trois faces qui utilise le ponçage à l'air basse pression pour aider à éliminer les irrégularités de surface, approfondir les vallées et ronger les surfaces planes. Le système dispose également d'une tête de meulage à air qui peut manipuler des tailles de plaquettes jusqu'à 200mm et est capable de polir à une planéité inférieure à 5 μ m/ μ m. EBARA F-REX300S2 dispose d'une double ceinture intégrée avec une finition de surface personnalisable. Les tapis sont des plaques de titane électroformées qui sont étirées sur les surfaces de polissage et de broyage pour obtenir une finition cohérente. La conception de la ceinture permet également une fréquence d'utilisation beaucoup plus élevée à des températures allant jusqu'à 600 ° C, ce qui permet une meilleure efficacité des nappes et du polissage. FREX-300 S2 comprend également une machine d'exploitation à distance qui permet aux opérateurs d'actionner facilement la machine de meulage et de rodage à distance. Ceci est particulièrement bénéfique pour les grandes plaquettes qui nécessitent plusieurs passes en raison de leur taille ou de leur complexité. Cet outil d'exploitation à distance permet également aux opérateurs d'ajuster des paramètres pour obtenir un degré de précision plus élevé, tels que la vitesse, la profondeur d'alimentation et la capacité, le tout sans avoir à régler manuellement chaque paramètre. L'actif est facile à utiliser et à entretenir, et comprend un équipement de contrôle automatisé pour alerter les opérateurs lorsque des ajustements de broyage ou de rodage sont nécessaires. Le logiciel dispose également d'une surveillance de processus en temps réel, rendant FREX 300 S2 plus efficace et facile à utiliser. Dans l'ensemble, l'EBARA FREX 300 S2 est un choix idéal pour ceux qui cherchent à obtenir une précision et une qualité supérieures dans le broyage, le nappage et le polissage des plaquettes. Avec son ensemble robuste de caractéristiques, il fournit une solution efficace et rentable pour la fabrication de plaquettes de précision. EBARA FREX-300 S2 est le choix idéal pour ceux qui cherchent à atteindre les normes les plus élevées dans le traitement des plaquettes.
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