Occasion EBARA Frex 300SII #9244830 à vendre en France
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ID: 9244830
Taille de la plaquette: 12"
Style Vintage: 2009
CMP System, 12"
Process: Cu
Hirata
(3) Loadports
(2) G3 Heads
RECM
Missing parts:
Hard Disk Drive (HDD)
Nano 9010b
2009 vintage.
EBARA Frex 300SII est un équipement de broyage, de nappage et de polissage puissant et de précision. Il est conçu pour traiter des plaquettes jusqu'à 300mm de diamètre avec une intervention minimale de l'opérateur. EBARA FREX 300 SII utilise un système intégré de broche de haute précision. Cette broche (moteur linéaire à 5 axes, petite vis à billes de pas, frein à courant de Foucault et codeur à roulement à air) offre jusqu'à 10 micro-étapes de précision pour une finition de surface supérieure et une planéité de surface exceptionnelle. La machine dispose également d'un processus de rodage en trois étapes. Tout d'abord, la plaquette est soumise à une planarisation de la plaquette semiconductrice. Ce procédé réduit les variations topographiques de la plaquette, créant une surface plane. Ensuite, la plaquette est broyée pour éliminer les défauts tels que les découpes aléatoires, les particules et les irrégularités. Enfin, la plaquette est polie pour obtenir une meilleure finition. Le processus de rodage permet d'améliorer la précision métrologique et le débit. L'outil offre en outre une large gamme de fonctionnalités optionnelles. La base propriétaire CFRP assure un amortissement des vibrations et un niveau plus élevé de stabilité dimensionnelle, entraînant des mouvements de rotation plus lisses et plus précis. Un moyen de refroidissement par air liquide aide à dissiper la chaleur générée pendant le processus de broyage et de polissage. Le modèle offre également une gamme étendue d'options consommables et de remplacement de pièces, permettant aux utilisateurs de personnaliser l'équipement en fonction de leurs besoins particuliers. Enfin, le système offre une gamme de caractéristiques de sécurité de premier ordre, y compris un capteur de proximité et un interrupteur d'arrêt d'urgence. Le capteur de proximité détecte la présence d'un opérateur dans le voisinage, tandis que l'interrupteur d'arrêt d'urgence permet aux utilisateurs de mettre fin rapidement au fonctionnement en cas d'accident ou d'urgence imprévu. Dans l'ensemble, FREX 300-SII est une unité de broyage, de nappage et de polissage des plaquettes incroyablement robuste et précise. Il offre un degré inégalé de précision et de précision, ainsi qu'une large gamme de caractéristiques de sécurité pour garantir une expérience de traitement sûre et efficace des plaquettes.
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