Occasion GUANGDONG FUSAN FXM-10 / FPG-13 #9093628 à vendre en France

GUANGDONG FUSAN FXM-10/ FPG-13 est un équipement de broyage, de nappage et de polissage de plaquettes conçu pour l'industrie des semi-conducteurs. La machine utilise un outil diamant au sol de précision, supportant le matériau abrasif, monté sur une table rotative. La table tourne à faible vitesse (typiquement en dessous de 1000 tr/min) ce qui permet à l'outil diamant de broyer efficacement, napper et polir plus de matière avec moins d'effort. Il est conçu pour minimiser les temps d'arrêt avec un système de chargement/déchargement automatique, permettant à la machine de passer rapidement entre le broyage, le rodage et le polissage des plaquettes. La machine comprend un contrôleur programmable à deux axes, permettant un contrôle facile et l'optimisation des paramètres de broyage, de rodage et de polissage. Un contrôleur logique programmable (PLC) en option permet de personnaliser davantage les paramètres opérationnels. Une unité de broche intégrée offre une excellente précision et répétabilité, avec la possibilité de passer à une machine multi-broches pour une vitesse et une efficacité accrues. FXM-10/ FPG-13 est équipé d'un outil de suspension de meulage reproductible de haute précision, utilisant deux barres de tension réglables, assurant une finition de surface uniforme et lisse. L'actif est conçu pour broyer et napper des plaquettes de taille et d'épaisseur variables, avec une tolérance supérieure de 100 nm. Le processus de broyage et de rodage est surveillé à l'aide d'un microscope 60x avec affichage numérique. La machine dispose également d'une tête de polissage avec cellule de charge intégrée et contrôle de chargement/déchargement des fluides, conçu pour polir des structures à couches minces ou d'autres substrats avancés avec précision et répétabilité. La tête de polissage est montée sur un moteur à entraînement direct à grande vitesse, permettant un réglage rapide de la force et de la vitesse du processus de polissage. GUANGDONG FUSAN FXM-10/ FPG-13 est une combinaison de procédés de broyage, de rodage et de polissage de précision, fournissant une solution complète pour la fabrication de semi-conducteurs. Ses systèmes avancés de contrôle, de suspension et de polissage lui permettent de produire des plaquettes de haute précision avec une qualité de surface supérieure. C'est une solution idéale pour des applications telles que les substrats d'emballage avancés, le verre d'affichage et les matériaux MEMS/optoélectroniques.