Occasion IPEC / WESTECH / SPEEDFAM 372M #155037 à vendre en France
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ID: 155037
Taille de la plaquette: 8"
ILD CMP Oxide/Poly Silicon/STI systems, 8"
Specifications:
Model 372 polisher mainframe
Novascan Model 210 thickness measurement system
32 bit Hardware Upgrade (Adtron Thincard system)
SECS I / II Host Computer Interface
Floppy Drive
Printer / Terminal Interface Software
Software-Controlled Process Variables with Hi/Low Limits
Dual Sensor Loadcup
SFI Load Station Sensor RFK
Gaard Arm pad conditioner
7.5 hp Final Platen Drive System
750 lb. Down-Force Polisher Arm
Closed-Loop Load Cell Down-Force Control
High-Pressure Primary Polish Station
TUFRAM-Coated Platen, 60 psi rating
Final Polish Station
TUFRAM-Coated Platen
1000 mL Flow Slurry Pumps (2 Primary - 2 Final)
Wafer Carrier Speeds (10-125 rpm)
Platen Speed (10-175 rpm)
Head Clean Station Quick-Dump Rinse Unit
Clean Station Float Sensor
Capacitance Level Sensor for Polish Tub
Slurry Manifold - BECO Valves
DI Manifold - BECO Valves
PRi compatible environmental hood
Moisture Sensor in Fluids Cabinet and System Base Interfaced
Process Chilled Water Temp Gauges and Flow Meters
Fluids Cabinet Exhaust
AWN Interface - Underneath
Mushroom-style Emergency Machine Off (EMO) Buttons
Electrical Cabinet
Heat-treated wood
Currently barrier bagged and crated.
IPEC/WESTECH/SPEEDFAM 372M est un équipement de broyage, de rodage et de polissage des plaquettes conçu pour le traitement des plaquettes semi-conductrices. La machine utilise un étage à trois axes (x, y, z) avec un moteur à vitesse variable pour obtenir des résultats de broyage et de polissage uniformes. Il est conçu pour être utilisé dans la production de plaquettes discrètes et continues, avec une taille de plaquette maximale de 3,2 "de diamètre. Le système de broyage, de nappage et de polissage possède un certain nombre de caractéristiques avancées conçues pour assurer la précision et la productivité. Il est équipé d'un étage moteur à courant continu 3 axes très précis, ainsi que d'un moteur pas à pas, pour assurer une rectification précise et cohérente. L'unité dispose d'un cycle de rectification et de rodage contrôlé par microprocesseur avec des options de rectification de rayon, de rectification de feuilles et de rectification de plaquettes. Il dispose également d'une machine de chargement automatique des plaquettes ainsi que d'un choix de disques abrasifs pour chaque opération. En plus de son cycle de broyage, de lap et de polissage, l'outil dispose également d'une fonction auto-inverse qui peut être activée pour aider à empêcher les matériaux de coller au milieu de broyage. Il dispose également d'une fonction de détection tactile facultative qui surveille les paramètres de température et de pression des actifs pour garantir des résultats cohérents. Cette fonctionnalité aide également à réduire l'accumulation de particules car elle empêche les cycles de broyage à grande vitesse. Pour plus de sécurité, le modèle est équipé d'une variété de caractéristiques de protection. Il s'agit notamment d'un équipement intégré d'arrêt d'urgence, d'une vanne de surpression et d'une fonction de temps de fonctionnement total, permettant à l'utilisateur de surveiller le nombre total d'essais pour chaque opération de meulage. Le système dispose également de déclencheurs de sécurité de détection de poids qui éteignent la machine si trop de poids est placé sur la plaque de meulage. En outre, il dispose d'un plateau à puce et d'un protecteur isolé pour empêcher les débris d'être rejetés dans l'environnement. En conclusion, IPEC 372M est une unité de broyage, de nappage et de polissage robuste, construite avec précision et sécurité. Équipé d'une variété de caractéristiques, il est conçu pour améliorer la cohérence et la répétabilité des opérations de meulage tout en offrant une protection et une précision accrues.
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