Occasion IPEC / WESTECH / SPEEDFAM 372M #9191784 à vendre en France

IPEC/WESTECH/SPEEDFAM 372M est un équipement multifonctionnel de broyage, de nappage et de polissage de plaquettes pour le silicium et d'autres matériaux composés semi-conducteurs. Ce système utilise des technologies de broyage microsismique avancées pour produire des surfaces propres et lisses sur des plaquettes de silicium jusqu'à 12 "de diamètre. L'unité a 3 sous-systèmes - le prober, le broyeur, et la station de nappage/polissage. Le prober peut tester la topographie de surface de la plaquette et détecter des anomalies, tout en étant interfacé avec un matériel d'acquisition de données monté sur rack PC et PCI-bus 19 ". Il peut transporter jusqu'à 6 plaquettes par minute, avec un maximum de 94 plaquettes. Il dispose également d'un moteur à courant continu de 1/2 ch, d'une plate-forme NEMA 12 en acier de 30 « X 30 » équipée d'un décalage manuel à 4 voies et d'une commande de mouvement à 4 axes pour un traitement rapide et précis des plaquettes. Le sous-système broyeur utilise des broyeurs avancés de haute vitesse et de haute précision pour réduire le temps de production des plaquettes tout en augmentant l'uniformité et la qualité des produits. Ces broyeurs utilisent 36 étages motorisés sur 4 axes, avec une machine de commande CNC de 5 à 6 axes. Il dispose également d'une plate-forme de broyage de 300mm X 50mm X 35mm, de roulements linéaires de précision et d'automatisation à double roulement. La précision est de 0,1 micron et la capacité totale de broyage est de 330mm par minute. La station de rodage/polissage utilise deux sous-systèmes robotiques pour le rodage de précision et le polissage des plaquettes. Il utilise également le refroidissement à l'eau chaude avec un réchauffeur submersible et un outil à flux en boucle fermée pour une action de refroidissement efficace. La station de lapping/polissage dispose de 6 têtes de pré-polissage en diamant, d'un contrôleur numérique et d'une sélection de films de broyage et de polissage. La capacité totale de polissage est de 28mm par minute. IPEC 372M est une machine de pointe avec des performances supérieures dans la production à long terme de plaquettes semi-conductrices de haute qualité. Il s'agit d'une machine idéale de broyage et de polissage de plaquettes, offrant une gamme complète de services, y compris le broyage de surface de précision, la coupe et le polissage. La machine est conçue pour fournir le plus haut degré de précision et de répétabilité, afin d'assurer une qualité et des performances constantes dans les processus de production.