Occasion IPEC / WESTECH / SPEEDFAM 372M #9266218 à vendre en France
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IPEC/WESTECH/SPEEDFAM 372M est un équipement de broyage, de nappage et de polissage de wafer haute performance conçu pour combiner les fonctions de la zone de processus humide et de la zone de polissage en un seul système. L'unité est conçue pour le broyage de plaquettes de silicium à plusieurs épaisseurs différentes, puis le nappage et le polissage. Avec ses composants modulaires, il offre une flexibilité pour changer la taille des plaquettes dans la machine. L'outil consiste en un chargeur automatique, qui contrôle précisément le chargement des plaquettes dans l'outil de meulage. Un dispositif mécanique appelé broche est alors utilisé pour faire tourner et broyer la plaquette. Le broyage est réalisé par la bouillie abrasive qui est introduite dans la broche. Les particules abrasives de la bouillie s'abradent ensuite et retirent la matière indésirable de la plaquette. Après le processus de broyage, la procédure de rodage suit. Cette étape utilise une plaque de rodage en diamant qui utilise un actif de recirculation pour fournir une action de rodage uniforme et contrôlée sur la plaquette. Enfin, le processus de polissage a lieu. C'est là que les surfaces de la plaquette sont préparées pour d'autres manipulations telles que l'amincissement, le revêtement, etc. Le modèle de broyage, de nappage et de polissage des plaquettes est équipé de plusieurs caractéristiques de sécurité. La broche est protégée des surcharges ou collisions accidentelles, par un coussin pneumatique sur la rotation de la broche. Il existe également un équipement électrique surveillé qui garantit que les paramètres corrects du processus sont maintenus en tout temps. Ceci assure la qualité constante des plaquettes finies. Le système IPEC 372M est contrôlé via une interface conviviale qui permet de contrôler facilement tous les paramètres de broyage, de rodage et de polissage. L'unité est également en mesure de surveiller le processus et d'élaborer les résultats en fonction des exigences de l'opérateur. De plus, la machine est capable de manipuler des plaquettes jusqu'à 12 pouces de diamètre en une seule opération, avec une vitesse maximale de 40 000 tr/min. Dans l'ensemble, WESTECH 372M est un outil avancé de broyage, de rodage et de polissage de plaquettes, conçu avec la technologie la plus récente pour offrir un haut niveau de précision et de flexibilité pour le processus moderne de fabrication de plaquettes. C'est une méthode fiable et économique pour obtenir des résultats performants avec des finitions précises.
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