Occasion IPEC / WESTECH / SPEEDFAM 472 #25450 à vendre en France
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ID: 25450
Taille de la plaquette: 4"-8"
Automated single wafer polishers, 4" - 8"
Automatic wafer loading / unloading
Capable of 2-step polishing process
APP1000 Advanced pad profiler pad conditioner
ViPRR Multizone carrier.
IPEC/WESTECH/SPEEDFAM 472 Wafer Broyage, Lapping & Polating Equipment est une machine de combinaison automatisée de haute précision destinée aux marchés des semi-conducteurs, de la décoration et de l'industrie. Ce système IPEC 472 est une solution ingénieuse intégrant les dernières technologies dans la conception des machines, le contrôle de mouvement et l'automatisation du cycle de service. Cette unité dispose d'une table unique et peut gérer un large éventail de pièces avec son contrôle polyvalent des processus en ligne grâce à une interface tactile conviviale. La machine se compose de trois composants principaux : le profilé Rail, la meule et la plaque de polissage. Le profilé est conçu pour un maximum de trois plaquettes à la fois et est réglable pour la longueur, la largeur et l'épaisseur de chaque plaquette. La meule est alimentée par un puissant moteur à courant alternatif et est capable d'atteindre une précision constante sur une large gamme de vitesses. Il est également équipé d'une machine autonome de collecte des poussières pour prévenir la rupture des plaquettes. La plaque de Lapping/Polissage est conçue pour être facilement réglable pour plusieurs tailles et épaisseurs de plaquettes. Il est également équipé d'une vanne d'habillage ultra-précise pour un contrôle précis et répétable du processus de nappage/polissage. WESTECH 472 intègre un outil d'automatisation de chargement avant en boucle fermée, capable de manipuler des lots en plusieurs parties grâce à des phases automatisées de repoussement et de reconditionnement. Il est également capable de débourrer et de profiler des plaquettes, d'enlever les bavures de broyage et de polir la surface des plaquettes. La machine est capable d'atteindre une précision de broyage inférieure à 1 um et une précision de nappage/polissage inférieure à 0,3 um et dispose d'une précision linéaire sous micron sur des longueurs étendues et avec une dérive thermique minimale. SPEEDFAM 472 peut également être adapté avec une large gamme de fixations changeables, permettant à l'utilisateur de modifier la machine pour s'adapter à leurs besoins spécifiques. De plus, la machine est équipée d'une isolation vibratoire pour un fonctionnement ultra lisse, permettant des cadences de production élevées avec des effets de vibration minimums sur les pièces traitées. 472 fournit aux opérateurs une plate-forme très précise, hautement configurable et sécurisée pour la manipulation des plaquettes sensibles, avec la capacité d'atteindre un degré élevé de précision et de répétabilité dans un ensemble de paramètres réglables. Il est également capable de réaliser des économies importantes grâce à des rendements constamment améliorés et à des temps d'arrêt minimisés.
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