Occasion IPEC / WESTECH / SPEEDFAM 472 #9135545 à vendre en France
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ID: 9135545
Taille de la plaquette: 8"
CMP Polishers, 8"
Fully automated precision polishing
Two platens, temperature controlled
Polish head clean station
Three slurries
Down force from 0.5 – 60 psi
Platen speed 10 – 175 RPM
Wafer carrier speed 10 – 125 RPM
Down force up to 750lbs
In‐situ pad conditioner.
IPEC/WESTECH/SPEEDFAM 472 est un équipement de broyage, de nappage et de polissage de plaquettes conçu pour le traitement ultra-précis des substrats semi-conducteurs, optiques et électroniques. Il est basé sur la technologie avancée d'une broche à grande vitesse équipée d'abrasifs diamantés. Le système est équipé de contrôleurs de mouvement multi-axes qui permettent une manipulation précise de la plaquette pendant le processus d'usinage. IPEC 472 propose jusqu'à 4 têtes de broyage et de rodage montées sur un porte-outil rigide et est capable de produire des surfaces ultra lisses avec des défauts de surface de collage minimes. Sa rotation à grande vitesse accélère le processus d'usinage et permet un débit élevé. La broche est capable de vitesses allant de 6000 à 13500 tr/min. Le support peut être modifié pour supporter une grande variété de substrats comprenant des semi-conducteurs, des dispositifs optiques ou électroniques. L'unité est automatisée et équipée de fonctions programmables telles que l'auto-alignement, l'auto-nivellement, l'auto-profondeur de coupe, la pression variable et la vitesse de broche variable. Il dispose d'une interface utilisateur intuitive qui permet une configuration et une programmation faciles de la machine. L'outil dispose également d'un atout de protection multi-niveaux des plaquettes qui maintient le polissage et le broyage des débris loin du substrat pendant le traitement. Ceci réduit les risques d'endommagement du substrat lors de l'usinage. WESTECH 472 est également très précis et précis avec sa résolution de mouvement linéaire X, Y jusqu'à 0,00004 pouce et sa répétabilité en Z jusqu'à +/- 0,0002 pouce. La précision du modèle assure un contrôle cohérent de la vitesse du rotor et le positionnement du substrat pendant le processus d'usinage. La 472 dispose d'un équipement logiciel PC convivial avec contrôle graphique et rétroaction graphique qui fournit des données sur les opérations d'usinage. Le logiciel offre des options de personnalisation ainsi qu'un système efficace pour le contrôle des paramètres d'usinage. Dans l'ensemble, SPEEDFAM 472 est une unité avancée de broyage, de nappage et de polissage de plaquettes qui est conçue pour améliorer l'intégrité de surface et la précision des substrats semi-conducteurs, optiques et électroniques. Cette machine offre des performances, une précision et une flexibilité supérieures et convient à une grande variété d'applications de fabrication.
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