Occasion IPEC / WESTECH / SPEEDFAM 472 #9210304 à vendre en France

IPEC / WESTECH / SPEEDFAM 472
ID: 9210304
Taille de la plaquette: 6"
CMP Polisher, 6".
IPEC/WESTECH/SPEEDFAM 472 est un équipement de broyage, de nappage et de polissage de plaquettes conçu pour répondre aux besoins de l'industrie des semi-conducteurs. Ce système est conçu pour une grande précision, une productivité élevée et un faible coût de possession. Il intègre un changeur automatique de plaquette, la mesure du profil de surface CCD et la tête de broyage/polissage multiple pour réduire les temps de cycle et maximiser les performances de l'unité. IPEC 472 est composé d'un boîtier unique contenant trois stations de traitement et une unité de commande de machine. Les stations comprennent une station de broyage/polissage, une station de rodage et une station de traitement supplémentaire en option ou une station d'inspection. La station de broyage/polissage peut accueillir jusqu'à huit têtes de traitement et utilise un outil de profilage de surface automatisé CCD pour surveiller et ajuster le processus de broyage/polissage pour une meilleure performance. Un actif de distribution de diamant est intégré à la station de broyage/polissage pour une application de diamant rapide et précise sans intervention de l'opérateur sur le processus. La station de rodage est équipée d'un maximum de trois têtes de rodage réglables pour obtenir la planéité, la douceur et le profil de surface désirés en fonction des exigences d'application. La station comprend également une taille de particules et un séparateur vibratoire pour une séparation rapide et efficace des particules de lisier de diamant. La station ou station d'inspection supplémentaire facultative est équipée d'un microscope pour la capacité d'inspection visuelle et d'un interféromètre laser pour la mesure précise sans contact et la rétroaction des résultats en cours de processus et/ou le contrôle en ligne du processus. Diverses fonctionnalités sont incluses dans WESTECH 472 afin d'assurer un débit maximal et des résultats de qualité. L'architecture propriétaire de contrôle de processus fournit le contrôle de précision du processus, y compris la vitesse de broche, la pression et le timing. Un chargeur de plaquettes télescopique permet le chargement et le déchargement entièrement automatiques de plaquettes directement dans l'équipement de livraison de la machine. L'armoire électrique fournit l'air comprimé propre et sec et le système de filtration de l'eau de refroidissement. De plus, une unité de filtration sous vide aide à maintenir un processus en boucle fermée afin de réduire la contamination par les poussières dangereuses et l'exposition des opérateurs. Dans l'ensemble, SPEEDFAM 472 est une machine fiable et productive qui fait partie d'une famille de machines qui sont conçues pour la plus grande précision, l'efficacité et le rendement dans le broyage, le tapis et le polissage des plaquettes. Cet outil convient aux applications complexes de broyage, de nappage et de polissage des plaquettes et est idéal pour les fabricants qui recherchent un débit élevé, un faible coût de propriété et un traitement à faible ppm.
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