Occasion IPEC / WESTECH / SPEEDFAM 676 #8353 à vendre en France
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ID: 8353
Orbital CMP tool
With APC
Upgraded to 500 MHz Pentium computer
Configuration:
(3) Cassette litter load / Unload station
Advanced pad motion control
High speed polish drive: 0 to 600 RPM
Closed loop delta P control
End point detection system
Stainless steel polish bell
(2) Pad conditioners.
Les équipements IPEC/WESTECH/SPEEDFAM 676 de broyage, de polissage et de polissage des plaquettes sont conçus pour une préparation efficace, efficace et précise des plaquettes destinées à l'industrie des semi-conducteurs. Ce système se compose d'une table de broyage/polissage intégrée, d'une tête de broyage/polissage, d'un couvercle de table réglable, d'une distribution de lisier et de lubrifiant et de systèmes de filtration. La table et la tête de meulage sont constituées d'une plate-forme rigide et réglable, permettant un contrôle constant de l'enlèvement des matériaux selon divers angles, épaisseurs et formes. Les housses réglables assurent la protection de la tête de meulage et de la table de travail, tout en maintenant la température dans une plage cohérente et en minimisant les possibilités d'oxydation ou de contamination. Le couvercle de table sert également de couvercle de poussière, empêchant les particules d'entrer dans la zone de broyage/polissage. Le débit de lisier et de lubrifiant est conçu pour optimiser la quantité de matière appliquée sur la plaquette, et les systèmes de filtration maintiennent les dommages des particules au minimum et assurent que seule la surface la plus finement polie est atteinte. L'unité utilise à la fois un procédé chimique/mécanique et une opération de broyage/polissage directionnel planaire qui permet une vitesse d'élimination constante des matériaux, à travers les substrats et les applications. La machine IPEC 676 est conçue pour un haut niveau d'automatisation et est équipée de paramètres et de réglages programmables pour assurer la précision et la précision des opérations de meulage/polissage. L'outil dispose d'une interface conviviale avec des paramètres de sécurité et des fonctionnalités de sécurité pour assurer un fonctionnement sûr et productif à chaque fois. Une large gamme de composés de broyage et de polissage sont également disponibles pour donner les meilleurs résultats, selon le type de matériau à usiner. WESTECH 676 broyage de plaquettes, nappage et polissage actif est en mesure de manipuler des plaquettes à la fois grandes et petites, et fournit une qualité de finition constante et de haute qualité. Ce modèle est le choix parfait pour tous ceux qui ont besoin d'obtenir une finition et une douceur très précises sur une variété de matériaux de plaquettes. Avec ses performances efficaces et fiables, l'équipement assure une finition parfaite à chaque fois, ce qui en fait un outil essentiel pour toute application de production de plaquettes.
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