Occasion IPEC / WESTECH / SPEEDFAM Avantgaard 676 #9092866 à vendre en France
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ID: 9092866
Taille de la plaquette: 8"
Style Vintage: 1996
CMP system, 8"
Used for Tungsten Polish
676 Mainframe with Operator Interface Monitor
System Computers: (1) SysCon, (4) Polish Heads, (1) Endpoint, (1) C2C
ystem Software: Advantgaard 676 3.0 rev S S
Brookside Endpoint Detection System with Configurable Algorithm to Detect Endpoint
(4) Mechanical polishing heads with Advanced Pad Motion
(3) Systolic Pumps for Slurry or DI Water
High Flow DI Water Rinse Valve Configuration
Upper and Lower Pneumatics Panel
Hoist for Upper Motor and Tower Removal
(2) Pad Conditioning Systems
Cassette to Cassette Wafer Handling System
Genmark Gencobot Multi-Axis Robot with Wafer Pickup Paddle
Wet Cassette Assembly with Wafer Sensor Array
Spray Box Assembly
Electrical Cabinet with Computer Control Station
1996 vintage.
IPEC/WESTECH/SPEEDFAM Avantgaard 676 est une plate-forme complète pour la fabrication de composants de circuits intégrés (IC). Ce système de pointe est équipé des dernières technologies d'automatisation pour fournir un haut niveau de précision et de débit. La machine utilise une combinaison de techniques de broyage, de nappage et de polissage pour obtenir une surface lisse et plane avec un minimum de défauts. IPEC Avantgaard 676 comprend une meule de précision avec une meule enduite de diamant. Par le procédé de broyage, des particules de diamant sont usées pour obtenir la rugosité de surface désirée. Pour affiner encore la surface, on utilise le procédé de nappage. Il s'agit d'utiliser un matériau abrasif rotatif de taille spécifique, afin d'éliminer les imperfections restantes. En outre, l'unité dispose d'un polisseur fin, qui utilise un matériau abrasif rotatif similaire, pour restaurer et améliorer la finition de surface fine. La machine est conçue pour être conviviale, avec une machine de manutention de l'outil flexible et un axe d'auto-centrage. En outre, l'outil dispose d'un bras robotique haute performance qui peut être programmé à de multiples fonctions, y compris le chargement et le déchargement des plaquettes de l'outillage, et d'apporter des ajustements aux processus de broyage, de rodage et de polissage. L'actif comporte en outre un large éventail de mesures de suivi et d'évaluation du processus. Il s'agit notamment d'un module avancé de surveillance des processus, qui permet de surveiller en temps réel les paramètres du processus tels que la vitesse et la pression des broches. De plus, le modèle comprend un équipement détaillé d'enregistrement des données pour fournir une analyse statistique du processus. Enfin, WESTECH Avantgaard 676 est équipé des dernières fonctionnalités de sécurité, y compris un système de verrouillage robuste qui assure l'arrêt complet de la plate-forme en cas d'anomalies ou de dysfonctionnements. La machine est également construite conformément aux règlements de sécurité de la Commission électrotechnique internationale (CEI). Globalement, Avantgaard 676 est une unité de broyage, de nappage et de polissage de plaquettes puissante et fiable, conçue pour répondre aux exigences exigeantes de l'industrie des semi-conducteurs. Sa conception conviviale, son large éventail de caractéristiques et ses caractéristiques de sécurité avancées en font une plate-forme idéale pour une production d'IC de haute précision.
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