Occasion IPEC / WESTECH / SPEEDFAM Avanti 472 #293750600 à vendre en France
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ID: 293750600
Style Vintage: 1996
Automatic wafer polisher
APP1000 Pad conditioning
Pressure (CDA): 100-80 psi (N2)
Vacuum: >-20 Hg
Compressed air peak flow: 6 SCFM (170 SLM)
Nitrogen peak flow: 10 SCFM (283 SLM)
Chilled water peak flow: 5 GPM (18.9 l/min)
DI Water:
Peak flow: 12 GPM (45.4 l/min)
Average flow: 2-5 GPM (7.57-18.9 l/min)
Power supply: 208-460 VAC, 50/60 Hz, 3-Phase
Manual
1996 vintage.
IPEC/WESTECH/SPEEDFAM Avanti 472 est une machine de broyage, de nappage et de polissage à quatre stations qui peut être utilisée pour traiter et raffiner des plaquettes semi-conductrices. Cette machine est conçue pour offrir des performances, une précision et une répétabilité supérieures dans les processus de broyage, de nappage et de polissage des plaquettes. Cet équipement a une conception modulaire qui permet une configuration facile pour différentes exigences de processus et assure une transition rapide entre les processus. IPEC Avanti 472 est capable de traiter jusqu'à quatre plaquettes simultanément. WESTECH Avanti 472 est équipé de deux tables de nappage et de deux tables de polissage pour le traitement des plaquettes dans chaque station. Ces tables sont conçues pour une action à grande vitesse avec un fonctionnement à faible vibration, permettant un contrôle précis sur l'ensemble du processus. Le système est équipé de deux moteurs AC dédiés pour chaque disque de rodage et de polissage, offrant un excellent chronométrage et un contrôle de vitesse stable. L'option de vitesse réglable optimise le réglage des conditions de chargement et de vitesse. Avanti 472 est livré avec trois types de milieux de broyage qui sont capables de répondre à un large éventail d'exigences d'application. Ces milieux de broyage comprennent le grit de diamant, le grit de céramique et le grit de carbure de silicium. Chaque type de grit fournit un niveau différent d'action de polissage, permettant à l'utilisateur de répondre au mieux à leurs besoins particuliers. En outre, le milieu de broyage peut être commuté entre les processus pour ajuster les valeurs du produit fini. L'unité dispose d'un contrôleur de processus programmable pour fournir une interface simple et conviviale. Ce contrôleur permet aux utilisateurs de programmer les paramètres du processus en fonction de leurs besoins spécifiques, ainsi que de fournir des diagnostics et des commentaires sur les paramètres du processus. Le contrôleur peut stocker jusqu'à vingt programmes distincts pour rappeler les différents paramètres rapidement et facilement. En outre, la machine est équipée d'un moniteur d'angle d'attaque pour surveiller l'angle de rectification/polissage de la plaquette et d'un moniteur de profondeur de rectification pour suivre la profondeur globale du processus de rectification. Enfin, la machine SPEEDFAM Avanti 472 est automatisée avec une série de capteurs et de chargeurs pour un fonctionnement sans surveillance, permettant une productivité, une flexibilité et une précision supérieures.
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