Occasion IPEC / WESTECH / SPEEDFAM Avanti 472 #60082 à vendre en France
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ID: 60082
Taille de la plaquette: 4"-8"
Chemical Mechanical Polisher (CMP), 4"-8"
Automatic loading / Unloading
DI Water:
Peak flow: 12 GPM (45.4 l/min)
Average flow: 6 GPM (22.7 l/min)
Pressure: 25 - 30 PSI
Chilled water:
Peak flow: 5 GPM (18.9 l/min)
Compressed air:
Peak flow: 6 SCFM (170 SLM)
Nitrogen:
Peak flow: 10 SCFM (283 SLM)
Power supply: 208-380 V, 460 VAC, 3 Phase, 50/60 Hz.
IPEC/WESTECH/SPEEDFAM Avanti 472 est un système de broyage, de nappage et de polissage de plaquettes de pointe. La 472 est spécifiquement conçue pour une utilisation avec des substrats semi-conducteurs, et offre des capacités de broyage, de nappage et de polissage supérieures. La 472 est la dernière version de la série Avanti et offre la technologie de broyage et de polissage la plus moderne. IPEC Avanti 472 se compose d'un portique double bras réglable qui abrite un système de broyage, de rodage et de polissage à deux broches. Équipé d'un plateau de 40mm de diamètre et d'une table de 200mm, le 472 assure la précision de l'enlèvement des matériaux et de la planarisation, tout en maintenant la précision micron sur la surface de la plaquette. Plusieurs plateaux peuvent être utilisés simultanément pour augmenter le débit, et le mouvement planétaire breveté du portique améliore la capacité de séparation verticale, fournissant une finition de qualité supérieure. La 472 utilise un design modulaire pour une intégration et une configuration plus rapides, et elle est équipée de commandes d'écran tactile pour une interface utilisateur simplifiée. Le contrôle intégré de la qualité des processus est géré à l'aide de logiciels, y compris une surveillance avancée des processus et un service de diagnostic automatisé. La 472 est également équipée de capteurs de sécurité intégrés pour une protection supplémentaire de l'opérateur. La 472 dispose d'une multitude de broches tournantes et fixes. Les broches à rotation haute vitesse offrent une flexibilité de vitesse optimale, tandis que les broches contrôlées par programmation améliorent la précision et la répétabilité. Les disques de broyage diamant abrasif sont utilisés pour obtenir une surface exceptionnellement plane, tandis qu'un système abrasif supplémentaire est utilisé pour enlever les couches minces de matériau avec plus de précision. Des systèmes d'étanchéité automatisés, des chambres environnementales et divers outils sont également disponibles, permettant le traitement de pratiquement n'importe quel matériau. La 472 offre polyvalence et précision pour un large éventail de besoins de broyage, de nappage et de polissage des plaquettes. Sa conception modulaire rend l'intégration et la maintenance plus simples que jamais, et ses contrôles automatisés garantissent des résultats fiables et de haute qualité à chaque fois. La 472 est le sommet de la technologie de broyage, de rodage et de polissage des plaquettes, offrant la plus haute qualité de produit final et de fiabilité des processus dans l'industrie.
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