Occasion IPEC / WESTECH / SPEEDFAM Avanti 472 #9109476 à vendre en France
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ID: 9109476
Taille de la plaquette: 8"
CMP polisher, 8"
Polish Arm/Wafer Carrier
Load/Unload Station
Primary/Final Polish Table (22.5"/20.625")
Carrier Clean Station
APP1000 Pad Conditioner
Adjustable Parameters: Polish Arm Downforce and Backpressure
Polish Platen Rotational Speed
Polish Platen Temperature
Wafer Carrier Assembly Rotation Speed
Polish Arm Assembly Oscillation Speed and Distance
Slurry Pump Output
APP1000 Pad Profiling
Alarm Band Width.
IPEC/WESTECH/SPEEDFAM Avanti 472 est un équipement de broyage, de nappage et de polissage de wafer de pointe. Il se compose d'une table tournante commandée par ordinateur montée sur une section verticale de la machine, où sont placés les outils de polissage. La table est capable de tourner dans les deux sens, ainsi que de tourner par incréments de 1 °. Les bras de polissage ont quatre bras de serrage et chacun peut supporter jusqu'à trois outils de polissage selon la forme et la taille de la plaquette. L'outil de broyage de précision qui dispose d'un mandrin auto-centreur permet un broyage rapide et précis de plaquettes minces permettant des débits élevés. Le bras de claquage est capable à la fois de commande manuelle et automatique. Il permet un contrôle précis des processus de rodage sans avoir besoin d'un opérateur. Le bras de polissage est intégré à un système futuriste ABM avec un robot de polissage avec un bras de platine alternatif pour une application de rodage sans broche. La table tournante est reliée à un moteur à 6 vitesses constantes pour le polissage à l'aide de roues en diamant. Il est également équipé d'une unité de vision intégrée de la machine à tête de broche qui permet de mesurer la qualité de la surface de la plaquette. L'IPEC Avanti 472 dispose également d'un amortisseur pneumatique pour réduire les vibrations. Il est conçu avec une conception de base isolée des vibrations pour minimiser le bruit pour plus de sécurité et de confort. La machine est également équipée d'une livraison en ligne de tensioactifs pour améliorer le nettoyage et réduire la production de déchets. L'outil de contrôle intégré permet des processus de rodage plus précis. WESTECH Avanti 472 est également équipé d'un actif de chauffage résistif en deux étapes pour sécher les matériaux humides pour les applications de nappage et de polissage. Il a également un refroidisseur qui fait circuler l'eau de refroidissement à travers le modèle pendant la course de polissage pour réduire le risque de surchauffe et améliorer l'intégrité structurelle de la plaquette. En outre, Avanti 472 dispose d'une armoire entièrement fermée équipée d'une enceinte de sécurité avec un arrêt d'urgence qui éteint l'alimentation en cas d'urgence. L'interface conviviale du panneau tactile contient une interface homme machine pour faciliter le fonctionnement et la surveillance, et un équipement d'acquisition de données qui capture toutes les données pertinentes pour les processus de polissage et de rectification. Dans l'ensemble, SPEEDFAM Avanti 472 est un système avancé et fiable de broyage, de nappage et de polissage de plaquettes conçu pour la production efficace de plaquettes très précises. Il offre des performances fiables et un haut degré de précision dans tous ses processus.
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