Occasion IPEC / WESTECH / SPEEDFAM Avanti 472 #9182620 à vendre en France

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ID: 9182620
CMP Polisher.
IPEC/WESTECH/SPEEDFAM Avanti 472 est un équipement de broyage, de nappage et de polissage de wafer de précision conçu pour la production et les applications en laboratoire. Le système est capable de broyer jusqu'à 450mm plaquettes à une planéité et une résolution spécifiées tout en éliminant les particules agressives jusqu'à 0.5µm. L'unité dispose de composants de broyage et de polissage entièrement indépendants, permettant des opérations de broyage et de polissage parallèles. Le lecteur linéaire haute résolution et l'asservissement numérique permettent une précision et une répétabilité supérieures. L'outil de meulage est entraîné à des vitesses allant de 30 tr/min à 360 tr/min avec une force maximale de 700 N/cm2 et une force totale de 14kN. IPEC Avanti 472 dispose d'une machine d'entraînement linéaire à quatre axes pour le composant de meulage et d'un outil d'entraînement linéaire séparé pour le composant de nappage/polissage. Le moteur fournit un mouvement exceptionnellement lisse et fiable pour les deux composants. Le composant de broyage peut être déplacé dans les directions x, y et z avec une résolution programmable de 1µm avec une répétabilité de 1 μ m. Le composant de nappage/polissage peut être déplacé dans les directions x et y avec une résolution de 0,001 μ m avec une répétabilité de 0,1 μ m. Le composant de nappage/polissage utilise une paire d'ensembles de palier hydrostatique pour déplacer avec précision les plateaux, en minimisant les déflexions tout en améliorant les performances thermiques. Les plateaux sont alimentés par un puissant servomoteur capable d'exercer jusqu'à 30 kN de force. Les plateaux peuvent être utilisés avec une sélection de systèmes de suspension, y compris simple face, double face et hybride. WESTECH Avanti 472 utilise un PC multimédia moderne avec interface tactile, fournissant à l'utilisateur une interface graphique facile à utiliser pour la programmation et le contrôle de l'équipement. Le système comprend également des outils avancés d'acquisition et de visualisation de données, permettant à l'utilisateur de surveiller et d'analyser le processus en temps réel. L'unité peut stocker jusqu'à 25 recettes, y compris jusqu'à 50 paramètres chacun. Dans l'ensemble, Avanti 472 est une machine de broyage, de nappage et de polissage de précision de pointe conçue pour produire des résultats irréprochables. L'outil comprend de nombreuses fonctionnalités redondantes qui permettent une performance optimisée et une précision répétable. L'actif est soutenu par un logiciel avancé basé sur PC, permettant des réglages facilement réglables et la surveillance et l'analyse des processus en temps réel.
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