Occasion JEOL SM-09010 #9055560 à vendre en France
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JEOL SM-09010 est un équipement automatisé de broyage, rodage et polissage de plaquettes conçu pour transporter les circuits de film épais de la salle blanche au processus d'assemblage de l'emballage arrière. Ce système offre un débit élevé, une faible contamination des particules et un contrôle précis de l'épaisseur et de la planéité de surface pour une fabrication optimale. JEOL SM 09010 comprend un mandrin de plaquette pour une manipulation sûre et sécurisée du substrat, et comprend une série d'étapes de nappage et de polissage pour obtenir la finition de surface souhaitée. Les systèmes de maintien et d'isolement sécurisés du mandrin permettent le traitement de substrats simples ou multiples, minces ou épais. Selon la configuration choisie, les systèmes de maintien et d'isolement peuvent varier de manuel à automatisé. Pour les modules multi-puces, le mandrin fournit une pression de serrage optimisée qui est réglable pour répondre aux exigences de l'application. SM-09010 comprend une meule de diamant intégrée pour un meulage de précision tout au long de la rotation de la plaquette. Ceci assure une texture de surface uniforme. La meule assure également une faible pression de meulage, évitant les rayures. L'unité est également équipée d'une plaque de rodage qui permet de contrôler la planéité et l'épaisseur pendant la phase de rodage du procédé. La plaque de rodage est faite d'un revêtement propriétaire qui augmente l'efficacité et réduit le glissement. La scène de polissage est celle où la machine brille vraiment. Il utilise un coussin aggloméré en diamant à actionneur pour atteindre des niveaux de topographie de surface égaux. Le coussin est également conçu pour réduire le stress tout en évitant toute formation de bourrage. Il est possible d'atteindre une valeur RMS inférieure à 3nm dans cette étape. En outre, l'étape de polissage de SM 09010 dispose d'une purge à gaz inerte, ainsi que d'un contrôle de température avancé. Cela permet d'obtenir des résultats uniformes et de réduire la présence de particules de poussière et d'autres contaminants qui pourraient empêcher le respect des normes de propreté. Enfin, JEOL SM-09010 dispose d'un outil d'affichage de l'information qui fournit une rétroaction continue en temps réel sur les paramètres du processus, les résultats et d'autres informations. L'actif peut également générer des rapports complets pour chaque cycle de processus, permettant une analyse approfondie des données de qualité pour une pureté et une performance optimales du produit. Dans l'ensemble, le modèle JEOL SM 09010 de broyage, de rodage et de polissage des plaquettes est une option idéale pour le traitement complet et automatisé des substrats qui répond aux normes de fabrication des salles blanches. Avec ses systèmes de maintien sécurisés et personnalisables, ses étapes de broyage et de polissage de précision et ses fonctions d'affichage et d'analyse des informations, c'est la solution idéale pour réaliser des circuits en couches minces de haute qualité.
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