Occasion LAM RESEARCH Teres #9016446 à vendre en France
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Vendu
ID: 9016446
Style Vintage: 1999
CMP system, 8"
Parts machine
Copper and tantalum polishing
2 open cassette load port
De-installed
1999 vintage.
LAM RESEARCH Teres est un équipement avancé de broyage, de polissage et de polissage de plaquettes qui fournit des résultats précis et reproductibles pour un large éventail d'applications. Teres est un système tout-en-un qui offre un enlèvement précis des matériaux, un lissage et un amincissement de la surface, ainsi qu'un contrôle précis des propriétés de finition de surface et de pellicule. Cette unité permet une qualité de surface supérieure et des résultats cohérents, permettant des processus de fabrication reproductibles et fiables. RECHERCHE LAM Teres se compose de cinq sections de processus : broyage, nappage, polissage, contrôle de l'épaisseur du film et étalonnage du transducteur. La section de meulage utilise deux meules diamantées cBN et une roue abrasive composite pour broyer des plaquettes jusqu'à la taille désirée. Il intègre également un mandrin sous vide qui fournit des résultats cohérents et reproductibles pour permettre un amincissement précis de la plaquette de polissage. La section de tapis de Teres utilise un design unique pour permettre le dépôt efficace et précis des plaquettes et du film. Cette machine est capable de traiter jusqu'à quatre plaquettes simultanément, et peut obtenir des réductions de 0,001-0,002mm, permettant un lissage de surface ultra-fin. La qualité des propriétés pelliculaires résultantes est également exceptionnellement élevée, ce qui conduit à une surface très cohérente et reproductible avec de faibles inhomogénéités superficielles. RECHERCHE LAM La section de polissage de Teres est spécialement conçue pour obtenir une précision et une qualité supérieures. Il utilise un outil automatisé de transfert de plaquettes, un bras robotique central et des moteurs d'entraînement programmables pour permettre un traitement précis et reproductible des plaquettes. L'actif est également équipé d'un modèle intégré d'inspection des défauts qui surveille les défauts et l'aberration en temps réel, permettant un contrôle supérieur des processus. L'équipement de contrôle de l'épaisseur du film Teres fournit un contrôle précis de l'enlèvement du matériau et de la finition de surface en contrôlant avec précision la distance entre le substrat et l'abrasif. Ce système offre à la fois un contrôle automatique de l'épaisseur et des dépassements manuels, permettant un traitement rapide et simple des plaquettes. L'unité d'étalonnage Transducer est utilisée pour mesurer et contrôler avec précision la pression et la vitesse de l'abrasif pendant le traitement des plaquettes. En résumé, LAM RESEARCH Teres est une machine de broyage, de nappage et de polissage de plaquettes avancée qui fournit des résultats précis et reproductibles avec une précision et une qualité de surface supérieures. Il combine une variété de sections de processus, conçu pour fournir un traitement efficace et cohérent des plaquettes. Cet outil est capable d'atteindre des propriétés fines de nappage et de film, tout en fournissant une variété d'options pour le contrôle manuel et le contrôle d'épaisseur. Il en résulte des surfaces reproductibles avec des inhomogénéités de surface faibles et un traitement rapide et simple.
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