Occasion LOH FM4 #9127661 à vendre en France
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LOH FM4 est un équipement de broyage, de nappage et de polissage des plaquettes qui permet la préparation de surface des plaquettes semi-conductrices et de silicium avant leur utilisation dans des applications électriques. Le système utilise une structure de support spécialisée pour sécuriser les substrats pendant les processus de broyage et de rodage. La préparation de surface est réalisée en utilisant des techniques connues de préparation de surface telles que le broyage de spin, le rodage de grande surface, le broyage planaire et le polissage. L'unité se compose de deux parties : une unité de contrôle de précision (PCU) et une machine à napper linéaire (LLM). Le PCU est un dispositif asservi qui contrôle le mouvement de la plaquette pour des opérations de rectification et de rodage précises. Il dispose d'une grande précision et répétabilité, permettant aux utilisateurs de régler la vitesse, la direction et l'accélération des opérations de broyage et de rodage. Le LLM est un moteur linéaire alimenté par une force attrayante sur une inductance. Il produit une force constante contrôlée de sorte que la forme finale de surface a une précision maximale. FM4 utilise une meule en diamant refroidie à l'eau pour créer une finition cohérente sur la plaquette. La roue est faite d'une résine de haute pureté qui contient plusieurs couches de particules de diamant polycristallin. La structure polycristalline est conçue pour réduire la fragmentation et maximiser l'efficacité du broyage. La meule est fixée au PCU et tourne à une vitesse variable qui peut être ajustée par l'utilisateur. Le LLM peut alors être utilisé pour rouler la plaquette pour une finition uniforme. La machine est également équipée d'un tampon de polissage qui est utilisé pour polir la plaquette. Ce procédé élimine la rugosité de la surface de la plaquette et augmente sa réflectivité et sa planéité superficielle. Le tampon de polissage est fait d'un matériau poreux et durable et est conçu pour fournir des résultats supérieurs avec une consommation minimale de matériau abrasif. LOH FM4 est conçu pour répondre aux besoins de haute précision de la production de semi-conducteurs. L'outil peut être personnalisé pour répondre aux besoins de diverses industries et fournit une méthode fiable et efficace de préparation de surface de plaquettes. Il offre aux utilisateurs un moyen rentable de polir et de tapisser les plaquettes avant qu'elles puissent être utilisées dans les produits électroniques.
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