Occasion LOH Toro-X-1000 #9047153 à vendre en France
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LOH Toro-X-1000 est un équipement de broyage, de rodage et de polissage de plaquettes fabriqué par LOH Advanced Technic, idéal pour la post-dédicace sur un niveau de plaquette dans l'industrie des semi-conducteurs. Le système comprend une étape de commande électronique et une étape de broyage pour traiter facilement les plaquettes de 3 pouces (76,2 mm) à 6 pouces (152,4 mm) de diamètre. Toro-X-1000 est équipé d'une unité de contrôle automatique du broyage et de la nappe, d'une machine de contrôle de la température, d'un outil de nettoyage des bulles et d'un outil de contrôle de la pression. La structure du modèle est composée d'un étage de commande électronique, d'un équipement de ligne aérienne et d'un étage de broyage. L'étage électronique de commande comprend une unité de commande de PC, des commandes de moteurs pas à pas, un système de refroidissement d'eau et un circuit de calibration. L'unité de contrôle PC est utilisée pour des opérations d'installation telles que le réglage du diamètre des plaquettes et le réglage de la puissance des roues, ainsi que pour le contrôle de la qualité du meulage. Les commandes du moteur pas à pas sont utilisées pour maintenir une vitesse de roue constante pendant le processus de meulage. L'unité de refroidissement à l'eau est utilisée pour refroidir la meule et la protéger contre le surchauffe, tandis que le circuit d'étalonnage assure la précision pendant le processus de meulage. La machine de ligne d'air de l'outil LOH Toro-X-1000 pompe l'air comprimé d'une soufflante dans l'étage de broyage pour générer le flux d'air vers la surface de broyage. Ce flux d'air contribue à refroidir la surface de broyage et à dissiper la chaleur générée au cours du processus. L'étage de meulage contient des porte-gobelets, des meules et des boucliers qui protègent la plaquette contre les forces d'impact causées par le processus de meulage. Les meules sont typiquement diamantées et varient en taille en fonction du type de plaquette. Le processus de grincement d'actif de Toro-X-1000 se compose de l'action de grincement principale suivie par le recouvrement et le polissage des stades. L'action principale de broyage coupe à travers les couches minces de la plaquette pour former un point de départ pour la nappe et le polissage. Lors de la phase de rodage, la machine se compose de deux roues qui se déplacent en sens inverse pour enrouler la surface de la plaquette. Pendant l'étape de polissage, un tampon de polissage rotatif avec des particules de diamant polit la surface de la plaquette pour ajouter une finition uniforme. En bref, LOH Toro-X-1000 est un modèle de broyage, de polissage et de polissage de plaquettes de précision conçu pour traiter des plaquettes de 6 pouces. Il dispose d'un étage de commande électronique complet, meule roue et équipement de ligne d'air, fournissant un contrôle et une protection précis pendant les étapes de meulage, de rodage et de polissage. Les caractéristiques de haute technologie du système le rendent idéal pour le post-dictage dans l'industrie des semi-conducteurs.
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