Occasion LOH X2SL #9277308 à vendre en France
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LOH X2SL est un équipement avancé de broyage, de rodage et de polissage de plaquettes conçu pour produire des résultats de haute précision et haute efficacité. Ce système comprend un sous-système robotique, un sous-système de broyage de diamants, un sous-système de rodage, un sous-système de polissage et un sous-système d'inspection en ligne. Le sous-système robotique utilise deux étages robotisés indépendants qui sont conçus pour déplacer de grandes plaquettes à travers les processus de broyage, de rodage et de polissage avec précision et cohérence. Cela élimine le risque d'erreur humaine et augmente le débit de la production de plaquettes. Le sous-système de broyage de diamants utilise une double meule de diamant pour broyer avec précision les plaquettes. Ce sous-système comprend également des capteurs et des logiciels pour surveiller le processus de rectification et ajuster les paramètres pour s'assurer que les bords de la plaquette sont broyés selon les spécifications souhaitées. Le sous-système de rodage est constitué de plusieurs têtes de rodage positionnables, destinées à armer la plaquette à la planéité désirée. Un procédé de nappage par étapes est utilisé pour améliorer la finition de surface sur la plaquette pour la préparer au polissage. Le sous-système de polissage se compose de deux têtes de polissage, configurées pour polir la plaquette sur une surface lisse. Pour ce faire, on utilise un lisier abrasif diamant pour lisser et polir la plaquette. Le lisier est contrôlé pour donner la finition de surface désirée, et des capteurs sont en place pour surveiller le processus et ajuster les paramètres de polissage en conséquence. Le sous-système « Inspection en ligne » est utilisé pour vérifier l'exactitude et les défauts de la plaquette. Il s'agit d'une unité de vision avec un interféromètre laser et un microscope électronique à balayage. La machine de vision est utilisée pour analyser la taille, la forme et l'orientation cristalline des plaquettes, tandis que l'interféromètre laser est utilisé pour mesurer les caractéristiques subtiles qui indiquent la qualité des plaquettes. Enfin, le microscope électronique à balayage permet une inspection très détaillée de la surface de la plaquette. En général, l'outil de X2SL est un grincement de gaufrette avancé, un recouvrement et un polissage de l'actif qui produit la haute exactitude, les hautes gaufrettes d'efficacité avec peu de risque d'erreur humaine. Ses différents sous-systèmes travaillent ensemble de manière transparente, fournissant les résultats de qualité requis par les industries exigeantes.
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