Occasion NOVELLUS / IPEC / WESTECH / SPEEDFAM 676 #293761797 à vendre en France
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ID: 293761797
Taille de la plaquette: 8"
Style Vintage: 1998
CMP Polishers, 8"
1998 vintage.
NOVELLUS/IPEC/WESTECH/SPEEDFAM 676 est un équipement de broyage, de rodage et de polissage de plaquettes performant et complet conçu pour des applications complexes de traitement des semi-conducteurs. Ce système est adapté au broyage, au rodage et au polissage de diverses plaquettes, y compris des plaquettes de faible dimension et non homogènes, pour un large éventail d'industries, y compris les semi-conducteurs, l'aérospatiale, l'automobile et le médical. L'unité est équipée d'un contrôle avancé des processus, de mises à jour automatisées du CIP, d'une machine automatique de gestion des processus et de la maintenance de la recette sur machine. L'outil utilise un logiciel de contrôle de processus avancé, qui lui permet d'obtenir une précision précise dans la production de produits avec une grande précision et un temps de configuration réduit. De plus, l'actif offre une surveillance et un contrôle intégrés du mouvement, de la mesure et d'autres paramètres nécessaires pour obtenir les résultats souhaités. Le modèle intègre un certain nombre de composants, dont un mandrin de plaquette, un équipement de transport de plaquettes, des broches de nappage et de polissage, une unité de pré-alignement, un système de vide, ainsi que deux gros servomoteurs à commande CNC. L'unité est conçue pour des débits allant jusqu'à 60 plaquettes par heure, offre une gestion et une programmation flexibles des recettes et est capable d'effectuer diverses opérations de broyage et de polissage, y compris des mesures RA et Rz. En outre, la machine est équipée d'une chambre de six pouces pour le nettoyage et la préparation des plaquettes. Pour assurer la sécurité du personnel et de l'outil, la norme IPEC 676 est équipée d'un outil de surveillance et d'accès (MAS) et de capteurs multiples pour surveiller les paramètres du modèle, les paramètres du processus et l'information d'accès de l'opérateur. Le MAS permet également la surveillance à distance des processus, y compris l'enregistrement des données, pour faciliter le suivi du processus. L'équipement est facile à intégrer avec l'équipement de processus existant, offrant une plate-forme hautement réglable qui peut accepter une variété de wafers et de processus. La conception modulaire permet des mises à niveau du système et des remplacements si les besoins opérationnels ou les exigences du processus changent. En outre, l'unité fournit des fonctions de diagnostic et de maintenance avancées qui permettent aux utilisateurs de détecter tout problème de machine et d'effectuer les réparations nécessaires. En optimisant les paramètres du processus, WESTECH 676 offre un traitement de haute précision et des performances fiables avec un temps d'arrêt minimal et une maintenance faible.
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