Occasion NOVELLUS / IPEC / WESTECH / SPEEDFAM 676 #293814146 à vendre en France
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ID: 293814146
Taille de la plaquette: 8"
Chemical mechanical polishing (CMP) polisher, 8".
L'équipement NOVELLUS/IPEC/WESTECH/SPEEDFAM 676 est un équipement polyvalent conçu pour traiter des plaquettes semi-conductrices de différentes tailles. Ce système est conçu pour fournir une plate-forme unitaire rentable pour tous les processus impliqués dans la fabrication de circuits intégrés. IPEC 676 utilise une combinaison de procédés mécaniques et chimiques pour obtenir la finition de surface souhaitée. Cette machine est équipée d'un bras robotique 6 axes conçu pour déplacer et positionner une gamme d'outils nécessaires au cycle de production. Le bras comprend un mandrin de plaquette monté sous vide et une variété de broches à outils. En outre, il y a une chambre de processus avec pneumatiques intégrés, contrôle de vitesse et recirculation à étages variables, et une gamme d'accessoires standard pour une variété d'exigences de processus. La WESTECH 676 comprend un outil de rectification à commande informatique unique semblable aux systèmes de rodage traditionnels. Les plaquettes sont placées dans le mandrin, et le bras robotique les déplace vers la meule. Un ordinateur contrôle la vitesse de la meule ainsi que la pression appliquée à la plaquette en utilisant des abrasifs spéciaux. À la fin du processus de broyage, le bras robotique déplace la plaquette vers un processus de rodage chimique. Un agent chimique est introduit dans la plaquette pour éliminer les débris ou résidus restants du processus de broyage. Une fois le processus de rodage terminé, une étape de polissage est lancée. Le bras positionne la plaquette contre une plaquette de polissage qui est abradée avec une variété d'abrasifs pour obtenir l'effet de polissage souhaité. Le processus de polissage affine encore la surface de la plaquette et élimine les débris restants de la phase de rodage. Une fois le processus de polissage terminé, un dernier rinçage est appliqué sur la surface de la plaquette. Ce rinçage est conçu pour éliminer tous les résidus de polissage ainsi que pour fournir une finition de surface propre et lisse. NOVELLUS 676 est conçu pour fournir une plate-forme très polyvalente, efficace et rentable pour traiter des circuits intégrés compliqués. Cet actif utilise à la fois des techniques mécaniques et chimiques pour obtenir la finition de surface souhaitée et peut supporter une variété de procédés, y compris le broyage, le rodage et le polissage, selon les circuits intégrés spécifiques en cours d'exécution. Avec sa conception robuste et ses composants de qualité, le modèle de broyage, de rodage et de polissage de 676 plaquettes est une solution efficace pour la fabrication de plaquettes semi-conductrices.
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