Occasion NOVELLUS / IPEC / WESTECH / SPEEDFAM 676 #9212984 à vendre en France

L'équipement NOVELLUS/IPEC/WESTECH/SPEEDFAM 676 de broyage, de nappage et de polissage des plaquettes est un système très polyvalent et technologiquement avancé pour la préparation de surface dans les industries des semi-conducteurs et de l'électronique. Il s'agit d'une unité autonome capable de broyer et de polir des plaquettes jusqu'à 12 pouces de diamètre avec une finition de surface Rmax/Rz ≤ 8,0µm sur une gamme de plaquettes spécifiques à l'application, telles que PAD, ARX et BOPP. L'unité est capable de broyer, de tapisser et de polir à des vitesses allant jusqu'à 150 mm/sec et est fortement recommandée pour une utilisation sur plaquettes de 300mm en raison de ses capacités de haute performance et de sa précision. IPEC 676 utilise la technologie abrasive la plus récente, offrant de nombreuses fonctionnalités et capacités. Il dispose d'une conception robuste double broche qui permet de broyer, de taper et de polir simultanément deux plaquettes. Un étage XY très rigide assure des mouvements précis et précis de la plaquette, et un étage Z sensible permet une planarisation de surface plus fine sur une gamme de plaquettes. La table de grincement/recouvrement/polissage est faite d'une base de résine d'époxy BLC-40 qui est résistante à la contamination et à se le fait de déformer et il contient aussi une machine de détenteur de bord droite faite breveter qui garantit le grincement égal et le polissage des pressions à travers la gaufrette entière. L'interface graphique facile à utiliser permet à l'opérateur de programmer avec précision la machine et de surveiller les performances de la plaquette. En plus du broyage, du rodage et du polissage des plaquettes, WESTECH 676 est capable de processus RIE, DRIE et de gravure. Il comprend une gamme complète de dispositifs de sécurité, tels qu'un moniteur acoustique intégré, des capteurs anti-liants et des systèmes de gestion de la poussière, pour assurer la sécurité de l'opérateur et de la plaquette. L'outil est également équipé de capacités de contrôle PC qui permettent une variété de fonctions, y compris les opérations de surveillance, le diagnostic et la documentation. SPEEDFAM 676 est un atout très fiable et efficace qui est idéal pour une gamme d'applications de préparation de surface de plaquettes.