Occasion NOVELLUS / IPEC / WESTECH / SPEEDFAM Avantgaard 676 #9276834 à vendre en France
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ID: 9276834
CMP System, parts machine
With MP400 Polisher
Interconnecting cables
Throughput: >40 Wafers/hr
Fully automated cassette to cassette (C2C)
(4) Wafer planarizers
Endpoint detection
Dual pad conditioning
Electrical cabinet
Spray box assembly
Automated wafer handling robot
Wet cassette assembly
Dual cassette basin
System Control (SysCon)
Control station
Head assembly
Internal bearings
Polish dynamics
Polish pad
Endpoint detection system
Manual
Includes:
Main polishing unit
Chase control panel
GENMARK Gencobot 3L / 4 Robot with end-effector
(25) M-825 Wafer address sensors
Chemicals:
Hydrogen peroxide concentration: 7.4% to 50%
W2000 Semi-sperse: DI Water and proprietary metal oxide
Power supply: 120/208 VAC WYE, 3 Phase, 60 Hz, 60 A.
NOVELLUS/IPEC/WESTECH/SPEEDFAM Avantgaard 676 est un équipement avancé de broyage, de rodage et de polissage de plaquettes. Ce système est conçu pour donner un contrôle précis sur une variété de processus, assurant des résultats de la plus haute qualité. Le Avantgard 676 est équipé d'une tête de broyage en diamant haute puissance, qui sert à broyer la surface des plaquettes semi-conductrices. Cette tête peut atteindre une granulométrie inférieure à 0,4 micron. L'Avantgard 676 est également équipé d'une unité de rodage avec une vitesse variable allant jusqu'à 120 tr/min, qui sert à polir la plaquette sur une surface lisse et régulière. Cette machine à napper présente une tête capable d'obtenir une rugosité de surface inférieure à 0,6 nanomètres. Le Avantgard 676 est équipé d'un puissant outil de polissage asservi à quatre points. Cet atout utilise une technologie brevetée de « servo-polissage », qui donne à l'opérateur un grand contrôle sur le processus de polissage. Le Avantgard 676 dispose également d'un modèle avancé de nettoyage IPEC, qui utilise des jets d'azote sous pression pour éliminer les particules microscopiques qui restent à la surface de la plaquette après le processus de broyage et de rodage. Cette technologie permet de s'assurer que les surfaces des plaquettes sont aussi propres que possible et exemptes de contamination. De plus, le Avantgard 676 est conçu pour être convivial et très efficace. Son interface opérateur dispose d'un écran tactile qui permet un accès facile aux commandes de l'équipement et dispose de programmes prédéfinis pour des applications spécifiques. Il dispose également d'un système de diagnostic intégré qui peut reconnaître et alerter le personnel en cas de problèmes. La machine est également équipée d'une unité de surveillance et d'alerte complète, qui aide à réduire les temps d'arrêt et assure le bon déroulement du processus de broyage, de rodage et de polissage. Dans l'ensemble, IPEC Avantgaard 676 est une machine de pointe qui permet aux opérateurs de broyer rapidement et avec précision les plaquettes semi-conductrices. Cet outil dispose d'une puissante tête de broyage en diamant, de l'actif de rodage et du modèle de polissage qui donne un contrôle précis sur le processus. En outre, il dispose d'interfaces conviviales et faciles à utiliser et de systèmes de surveillance qui aident à réduire les temps d'arrêt et à garantir des résultats de la plus haute qualité.
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