Occasion NTS Nano Surface SL910-AFCL #9226058 à vendre en France
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ID: 9226058
Style Vintage: 2008
Single diamond polishing system
Polishing heads
Plate non step variable speed system: Smooth start / Stop feature
(4) Holder type pneumatic pressure systems / Level type
Real-time control temperature
Automatic diamond slurry spray system: 2 Points
4-Axes pressure plate water cooling system
(2) Pneumatic step pressure systems: Cylinder ф80 x 200 st
Machine emergency auto-stop function
Hume protective / Exhaust system
Spindle housing system
Lapping plate water cooling system
IR Temperature reading system
Pressure plate: ф360 (Sus 304)
Drop slurry supply system
Timer (Process time)
Solid frame structure
Hand shower: 2 Spots
(2) Auto stirrers
(2) Spray nozzles
Plate: 15~80 RPM
Semi-automatic:
Precision lapping plate facing and grooving system
One time grooving: 150 um Deeps
Main motor: 220 V, 50/60 Hz, 3 Phase, 7.5 kW
Input voltage: 220 V, 50/60 Hz, 3 Phase
2008 vintage.
NTS Nano Surface SL910-AFCL est un équipement de broyage, de rodage et de polissage de plaquettes conçu par NTS pour automatiser le broyage, le rodage et le polissage de plaquettes de manière économique et répétable. Ce système est conçu pour préparer des plaquettes pour des applications avancées de semi-conducteurs, contribuant à réduire les temps de cycle et à améliorer les rendements. Le SL910-AFCL est alimenté par un moteur électrique à haute performance, refroidi par ventilateur, capable de produire jusqu'à 24 kW de puissance. Il dispose de la technologie de broyage à convergence rapide (RCGT), avec un modèle à la vitesse correspondant pour des broyages rapides et efficaces. Une unité embarquée sur PC dispose d'un oscillateur adapté en temps réel qui est capable d'optimiser le contrôle des processus de broyage et de polissage. En outre, il est équipé d'une machine de pellicule intégrée qui permet l'intégration de différents films de pellicule, pour permettre une optimisation ultérieure du processus. Les avantages du SL910-AFCL comprennent plusieurs options de contrôle de précision, y compris des niveaux, des angles et des processus complexes en plusieurs étapes, ainsi qu'un tas de capacités d'automatisation avancées telles que loadlocker, refelex, et wafer-amincissement. De plus, il est également capable d'obtenir des résultats de finition de surface inférieurs à 2 nm. L'outil offre un contrôle et une répétabilité des processus serrés qui offrent des rendements élevés pour la production de volume, ainsi que permet aux utilisateurs de prendre moins de mesures dans leur processus. Afin de maximiser le débit et de minimiser le coût, le SL910-AFCL est équipé d'un réglage de la vitesse et de la température pour optimiser la séquence de nivellement et de polissage de la plaquette. En outre, il dispose d'un atout autobalancer pour maintenir dynamiquement le niveau de pression et de force, et d'un Platen Lift et Air Lift motorisé pour le levage automatique et l'abaissement des mandrins de wafer pour un niveau plus efficace et plus rapide et le processus de polissage. Il dispose d'un modèle de maintien de mémoire auto-wafer, permettant à la machine de se souvenir des niveaux de polissage des wafers et fournissant un rappel précis pour un processus sous-séquent plus rapide. Dans l'ensemble, Nano Surface SL910-AFCL est un équipement de broyage, de rodage et de polissage de plaquettes puissant, avancé et rentable qui permet aux utilisateurs d'améliorer leur rendement et de réduire les temps de cycle.
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