Occasion OKAMOTO SPP-600S #9078428 à vendre en France
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OKAMOTO SPP-600S est un équipement de broyage, de nappage et de polissage de plaquettes à commande géométrique conçu pour le traitement à plat de plaquettes semi-conductrices et d'autres matériaux à couches minces. Le système combine des procédés de micro-broyage, de nappage et de polissage de précision en une seule unité automatisée pour produire des plaquettes ultra-plates et hautement polies, avec des tolérances de planéité extrêmement serrées. En utilisant SPP-600S, le grincement de gaufrette, le recouvrement et le polissage des processus sont contrôlés précisément par un appareil photo CCD avec l'adaptation automatique de la table. Cette machine de contrôle d'homogénéité est capable de maintenir une planéité σ extrêmement serrée de 2 μ m ou mieux selon le type de plaquette et les conditions de nappage et de polissage utilisées. Les séparateurs automatisés de plaquettes assurent une répartition uniforme des forces de nappage et de polissage, ce qui donne des résultats très uniformes et cohérents. L'outil est conçu avec un outil sophistiqué de contrôle et de surveillance des processus, qui utilise un logiciel spécialisé basé sur PC pour contrôler les paramètres critiques tels que la vitesse de l'outil, la concentration des diamants, les pressions opérationnelles, les températures et plus encore. Cette fonction de contrôle permet aux opérateurs de configurer avec précision et facilité une grande variété de recettes de processus spécifiques aux produits, puis de les maintenir avec un résultat de sortie cohérent et reproductible. Le procédé de broyage/rodage sur OKAMOTO SPP-600S est capable d'éliminer un grand nombre de sites défectueux, y compris des particules de taille micron et des contaminants, ce qui permet une finition de surface supérieure. Le modèle peut traiter des substrats simples ou divers, y compris du silicium polycristallin et des matériaux monocristallins. De plus, l'équipement fournit des opérations automatisées de hachage, d'inspection et d'enlèvement des plaquettes, ainsi qu'un système de nettoyage automatique pour enlever rapidement et efficacement les débris du disque. SPP-600S est conçu pour répondre aux exigences exigeantes de la fabrication de semi-conducteurs et des applications de recherche, où des plaquettes ultra-plates et hautement polies sont nécessaires. Son unité de contrôle automatisé et ses procédés de broyage, de rodage et de polissage de précision permettent à la machine d'obtenir des résultats supérieurs, avec des tolérances de planéité extrêmement serrées. La capacité supplémentaire d'automatiser plusieurs recettes de processus fait d'OKAMOTO SPP-600S un choix idéal pour les installations de production et de recherche.
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