Occasion OKAMOTO VG 502 #9408618 à vendre en France
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OKAMOTO VG 502 est un équipement avancé de broyage, de nappage et de polissage de plaquettes conçu pour la production de dispositifs et de matériaux semi-conducteurs de haute qualité. Il intègre les principes des technologies de CMP, de rodage et de polissage pour fournir une plate-forme de production adaptée à la fois à la production à haut volume et à la recherche et au développement. Il dispose d'un système d'asservissement de la broche aérienne qui fixe la vitesse de rotation de la meule avec précision et garantit ainsi une précision supérieure et une qualité supérieure. OKAMOTO VG-502 offre également une large gamme d'options de meules avec différents matériaux pour répondre à différentes exigences. L'unité peut traiter des plaquettes de différentes tailles et matériaux, y compris le silicium, le germanium, les composés III-V et les composés GaAs. Ceci est rendu possible par son mandrin de polissage amovible qui peut contenir jusqu'à huit plaquettes de 8 « ou douze plaquettes de 4 » simultanément et est réglable pour accueillir des plaquettes de différentes tailles et formes. Les plaquettes sont passées à travers une meule selon des angles définis et avec une boucle de rétroaction constante, qui mesure l'uniformité de la meule et ajuste automatiquement les paramètres de rectification pour une meilleure précision. La machine est équipée d'une technique avancée de rodage différentiel, permettant d'alimenter la plaque de rodage avec un flux continu uniforme de particules abrasives. Le nappage différentiel est alors effectué à l'intérieur de la zone nappée pour améliorer la rugosité de surface, la planéité et le parallélisme. De plus, la VG 502 est capable d'un rodage global, le rodage de l'ensemble de la plaquette se faisant en une seule passe sans endommager les bords. L'ensemble de l'outil est commandé par une unité centrale de commande. L'actif est également équipé d'un modèle de lubrification liquide à température contrôlée pour assurer une température uniforme des plaquettes et améliorer la précision du processus. De plus, un équipement de refroidissement réglable permet au système de varier la vitesse de refroidissement et de surveiller les paramètres du processus en temps réel. Ces caractéristiques sont essentielles pour assurer une plus grande stabilité du processus et des dommages minimaux aux plaquettes. VG-502 est l'unité ultime de broyage, de rodage et de polissage et fournit des résultats extrêmement précis et fiables. Sa large gamme de paramètres de processus, des vitesses de refroidissement réglables et une machine de lubrification dédiée en font un choix privilégié pour les applications haut de gamme.
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