Occasion OPTOTECH ASM 80 #9198173 à vendre en France
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OPTOTECH ASM 80 est un équipement de broyage, de nappage et de polissage de plaquettes conçu pour la fabrication d'une grande variété de dispositifs semi-conducteurs. Il est équipé d'une unité de broyage à semi-conducteur et d'une table à trois axes pour le polissage des substrats spécifiés. L'unité de meulage, avec une roue en diamant et un servomoteur de haute précision, permet le meulage précis de formes et de plans complexes avec un minimum d'enlèvement de matière. Le procédé de rodage est réalisé à l'aide d'une combinaison de boues de diamant et colloïdales, ainsi que de boues d'alumine à bords tranchants, pour aider à accélérer le processus. Le lisier d'alumine aide à créer des finitions de qualité nanométrique sur le substrat, tandis que le lisier de diamant donne des rendements de production élevés. La station de polissage ASM 80 est équipée de deux têtes de polissage reliées à deux contrôleurs diamantaires indépendants. Chaque tête de polissage a un bras robotique avec un porte-tampon spécial, qui est capable de positionnement précis et de contrôle de vitesse. Les contrôleurs ont également des fonctionnalités intégrées telles qu'un système de contrôle autofocus, une unité de protection de substrat et une machine de réglage de l'angle de contact. Un programme de polissage automatique est utilisé pour permettre le contrôle précis du temps écoulé et les réglages précis des paramètres qui contrôlent le polissage. Le programme permet également de régler l'angle de contact et la pression entre le plot et le substrat. OPTOTECH ASM 80 est équipé d'une station de régénération de film épais intégrée, qui peut atteindre des épaisseurs de substrat précises jusqu'à 0,2 mm. La station de régénération dispose d'une vitesse, d'une pression et de réglages abrasifs réglables, ainsi que d'un outil spécial de détente qui aide à protéger les substrats délicats. Enfin, l'ASM 80 est capable de mesurer après polissage, ce qui inclut la capacité de mesurer la planéité et la texture de surface du substrat à l'aide à la fois d'un microscope optique à champ proche et d'un microscope électronique à balayage. L'actif est également capable de mesurer in situ les angles de contact entre les substrats et le plot de polissage. Dans l'ensemble, OPTOTECH ASM 80 est un modèle polyvalent et convivial de broyage, de nappage et de polissage de plaquettes qui offre des performances de haute précision, qui est idéal pour fournir des résultats de qualité supérieure dans l'industrie de la fabrication de dispositifs semi-conducteurs.
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