Occasion SATISLOH SPM 50-2SL #9271649 à vendre en France
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Vendu
ID: 9271649
Style Vintage: 2000
System, parts system
Damaged parts:
PC Hard Disk Drive (HDD)
Pneumatic pressure regulator for clamping pressure
Hydraulic pump
Lamps
Diskette drive
Workpiece probe
Spindle cooler
Does not include cooler
2000 vintage.
SATISLOH SPM 50-2SL est un équipement multifonctionnel de broyage, de rodage et de polissage de plaquettes conçu pour analyser et traiter des plaquettes jusqu'à 200 mm de diamètre. Le système utilise un ensemble de broches à diaphragme à entraînement direct pour fournir un broyage diamant monocristallin de haute précision pour diverses applications telles que les plaquettes de broyage pour semi-conducteurs, MEMS, cellules solaires et autres dispositifs. L'unité est également utilisée pour la planarisation de surfaces de plaquettes dans les procédés de rectification, rectification, nappage et polissage. La machine dispose d'un ensemble de modules de broche avec une table rotative et trois axes linéaires pour supporter la broche variable. L'axe d'entraînement direct variable est supporté par un palier de haute précision et fournit des vitesses variables jusqu'à 50.000 tr/min. Il dispose également d'un contrôle automatique de l'oscillation des broches qui assure une séparation uniforme des plaquettes. L'outil est conçu avec un ensemble de table rigide équipé d'une meule diamantée monocristalline et d'un palier hydrostatique réglable pour fournir une plate-forme flottante libre. Cela garantit la stabilité et la précision tout en assurant un niveau de précision de répétabilité élevé de 0,002µm. Afin d'assurer une grande précision du broyage, le SATISLOH SPM 50-2 SL est équipé d'un modèle de positionnement informatisé. Il s'agit notamment d'une caméra numérique qui affiche la surface de la micro-plaquette pour un positionnement précis et trois axes linéaires asservis pour des opérations de micro-traitement. SPM 50-2SL comprend également une sonde de mesure optique intégrée pour surveiller et contrôler en continu le processus. La sonde comprend un équipement optique sans contact pour mesurer la position relative et l'orientation angulaire de la surface de la plaquette, ainsi qu'un système d'imagerie multispectrale pour détecter les défauts de surface. Enfin, l'unité est conçue avec un écran tactile intuitif convivial qui fournit une représentation visuelle de l'ensemble du processus. Cela permet à l'opérateur de visualiser les paramètres et les réglages et d'effectuer des réglages en temps réel au besoin. SPM 50-2 SL est idéal pour une variété d'applications de traitement de plaquettes de pointe.
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