Occasion SHUWA SGM-6301 #9256700 à vendre en France

L'équipement SHUWA SGM-6301 de broyage, de nappage et de polissage des plaquettes est un système d'automatisation de précision pour le broyage, le rodage et le polissage des plaquettes aux niveaux de qualité submicronique et nanométrique. L'unité est adaptée pour broyer, napper et polir divers matériaux semi-conducteurs et couches d'interconnexion. SGM-6301 machine automatisée comprend un chargeur robot très efficace qui peut accueillir jusqu'à 8 porte-plaquettes et est capable de transférer des plaquettes entre les chambres. Le logiciel intégré fournit à la fois la roue à coupelles et le mode à fréquence pour obtenir une uniformité et une répétabilité supérieures. L'ensemble de l'outil est intégré avec un atout avancé de contrôle de mouvement qui assure un mouvement précis de chaque axe. Un seul positionneur de table en SHUWA SGM-6301 permet de broyer, de taper et de polir des plaquettes sur une seule plate-forme. Il a une pression de modèle réglable pour une répartition uniforme de la pression, ainsi qu'un angle d'inclinaison réglable dynamiquement pour obtenir des résultats de broyage et de rodage uniformes. L'équipement dispose également d'une vitesse de broyage, de rodage et de polissage réglable ainsi que d'accélérations/décélérations réglables. SGM-6301 système comprend trois chambres de broyage/polissage séparées où les porte-plaquettes sont chargés. Deux des chambres sont destinées à des opérations de broyage et de nappage tandis que la troisième chambre est utilisée pour des opérations de polissage. L'unité comprend deux meules différentes qui permettent le meulage et le rodage de plaquettes de taille et de forme différentes. La machine dispose également d'un plateau de polissage actif qui est capable de réaliser une finition de surface de 0.1μmRa ou mieux. L'outil SHUWA SGM-6301 de broyage, rodage et polissage des plaquettes offre une longue durée de vie et de faibles coûts de maintenance en raison de son utilisation de pièces de haute qualité et de composants de blindage. Son protocole de communication intégré et ses fonctionnalités de programmation multilingues permettent une installation rapide et facile sans ressources techniques coûteuses. L'actif dispose également d'une large gamme de fonctionnalités facultatives telles qu'un gestionnaire de plaquettes étendu, la manipulation de plaquettes sous vide et des capacités étendues d'enregistrement et de surveillance des données.