Occasion SPEEDFAM 15B #9380963 à vendre en France

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ID: 9380963
Style Vintage: 1989
Double side lapping machine Masterflex peristaltic pump 3M Trizact diamond pad Down force range: 0-303 kg Crosscut spacing width: 30 x 40 x 2 mm Upper plate: 303 kg Lower plate: 5-65 RPM (5) Carriers Lifting cylinder: φ 140 mm x 290 Stroke Pressure control cylinder: φ 140 mm x 80 Stroke Slurry pump: 0.4 kW Main drive motor: 7.5 kW Sun gear drive motor: 1.5 kW Air supply: 5-6 kg/cm², 20 Liter/min Carrier / Ring gear / Sun gear: M: 3 / 3 / 3 Z: 128 / 356 / 100 PCD: 384 / 1068 / 300 Maximum diameter: φ 310 mm Minimum thickness: 0.35 mm Maximum thickness: 30 mm Maximum down force: 303 kg Lower plate: 50/60 Hz Power: 50 A, 100-480 V, 3-Phase, 7.9-9.4 kW 1989 vintage.
L'équipement SPEEDFAM 15B Wafer Grinding, Lapping et Polissage est une machine de polissage à semi-conducteur de pointe avec un flux de travail efficace, un contrôle précis et une répétabilité inégalée. Ce système est conçu pour des applications allant de plaquettes de 200 mm à des substrats de 2 pouces et 25 mm ou encore plus petits, permettant un polissage monobloc de la pièce. 15B dispose d'une unité robotisée multi-axes, d'une échelle linéaire de précision avec une précision de positionnement de 0,5 micron, et d'une machine de réglage fin segmentée. L'outil multi-axes offre une gamme complète de mouvements, permettant à l'opérateur de positionner et de contrôler avec précision la pièce au fur et à mesure de son traitement. L'échelle linéaire de précision assure que la pièce est dans la position souhaitée tout au long de l'opération et l'actif de réglage fin segmenté permet un réglage continu de la surface pour obtenir le résultat souhaité avec une plus grande précision. SPEEDFAM 15B utilise un plateau de surface plat pour supporter la pièce lors des opérations de broyage et de polissage. Ce plateau est spécialement conçu pour la pression uniforme, l'abrasion et le contact de surface entre pièces et plateaux pendant le processus de broyage/polissage. En outre, le plateau a une option de hauteur réglable pour les pièces de hauteur variable ou de surfaces inégales. 15B est conçu pour le polissage à faible abrasion, ce qui donne une plus grande précision de finition de surface. Le processus de polissage est soigneusement géré par un modèle programmable qui contrôle précisément les vitesses de broche, la rotation et la pression du plateau pour chaque étape de polissage. En conséquence, le processus de polissage est terminé en une fraction du temps nécessaire avec les procédés traditionnels. SPEEDFAM 15B utilise également un poste d'inspection des plaquettes entièrement programmable qui permet la surveillance et le contrôle en temps réel des plaquettes et de la qualité de la finition de surface. Cela permet à l'opérateur de s'assurer que la plaquette est en bon état tout au long du processus. 15B est un équipement sophistiqué de broyage, de nappage et de polissage de plaquettes qui est capable de produire des pièces de haute qualité avec une excellente précision de finition de surface. Grâce à ses commandes avancées, SPEEDFAM 15B assure un traitement rapide et cohérent des plaquettes et s'est avéré être un système fiable et efficace.
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