Occasion SPEEDFAM 16B-5L #293794262 à vendre en France
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ID: 293794262
Style Vintage: 2010
Double side lapper
Cast iron plate
Gear teeth and bearing
(2) Motors
2010 vintage.
SPEEDFAM 16B-5L est un équipement de broyage, de rodage et de polissage de plaquettes conçu pour l'industrie des semi-conducteurs. Il est capable de broyer, napper et polir des plaquettes jusqu'à 5,2 pouces de diamètre en une seule opération. Le système dispose d'une chambre en acier inoxydable avec une construction monobloc, qui peut supporter jusqu'à 16 plaquettes à la fois. Pour ce faire, on dispose d'une plaque de gabarit réglable en hauteur qui permet de positionner les plaquettes aux niveaux optimaux pour le procédé. Le processus de rectification est réalisé avec un axe de rectification à deux roues qui est commandé par un contrôleur de mouvement à quatre axes. Ceci fournit une méthode précise de contrôle du processus de broyage et une finition de surface lisse. La roue dentée peut être ajustée pour permettre des opérations de meulage monocouche et multicouche. Le processus de rodage consiste en un processus en deux étapes. Tout d'abord, la plaquette est tapissée à l'aide d'une roue à lames fixe et d'une roue à coupelles tournantes. Cela aide à générer une surface plane. Ensuite, il est encore nappé à l'aide d'une roue à tour de rôle et d'une roue à coupelles fixes pour obtenir une uniformité. Les processus de chevauchement et d'hyper-tour sont également possibles avec SPEEDFAM 16B5L. Le procédé de polissage utilise une table de polissage, entraînée par un moteur à courant continu. La table de décomposition utilise un lisier de diamant qui aide à donner une surface polie à la plaquette. Le processus de polissage est surveillé par une unité de mesure des particules afin d'assurer des paramètres de polissage optimaux. 16B-5L machine comprend également un certain nombre de caractéristiques supplémentaires telles qu'un réservoir de collecte de boues, un outil de filtration de liquide de refroidissement, des opérations automatiques et un certain nombre de fonctions de sécurité. 16B5L est un atout fiable et efficace pour broyer, tapisser et polir les plaquettes. Ses caractéristiques avancées garantissent précision, efficacité et répétabilité, et sa taille compacte permet une utilisation dans de petits espaces. Grâce à sa conception polyvalente et efficace, SPEEDFAM 16B-5L est un modèle idéal pour toute application de l'industrie des semi-conducteurs.
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