Occasion SPEEDFAM 16B-5P #293589766 à vendre en France

SPEEDFAM 16B-5P est un équipement polyvalent de broyage, de nappage et de polissage des plaquettes de haute qualité. Il est conçu pour accepter des plaquettes de 4 « à 8 » et est capable d'obtenir une finition de surface supérieure et des résultats cohérents tout en maintenant les plus hauts niveaux de débit et de qualité de processus. Le système de broyage des plaquettes est généralement utilisé pour éliminer l'excès de matière des surfaces des plaquettes avant le broyage latéral ou la planarisation mécanique chimique (CMP). Les lames tournantes et fixes sont entraînées par un servomoteur et ont des vitesses réglables. L'unité peut être calibrée pour différentes épaisseurs de plaquette pour des résultats optimaux. 16B-5P est équipé d'une machine à lisier en diamant pour les opérations de nappage et de polissage. Le lisier de diamant est distribué automatiquement, en veillant à ce que la quantité correcte de lisier soit appliquée sur la plaquette en tout temps. Le lisier est filtré avant application, et peut être ajusté aux opérations de nappage ou de polissage en cours. Le lisier de diamant est également contrôlé en température pour assurer les niveaux les plus élevés de répétabilité du processus. SPEEDFAM 16B-5P est également équipé d'un outil de pression d'eau réglable pour assurer une répartition uniforme des particules de lisier sur toute la surface de travail. L'actif dispose également d'un modèle de palette automatisé qui peut être utilisé pour transporter des plaquettes dans tout l'équipement. Le système de palettes automatisé permet à l'opérateur de basculer entre différentes plages de travail et d'ajuster leurs réglages de vitesse. Pour s'assurer que les normes les plus élevées de qualité des procédés sont respectées, 16B-5P possède plusieurs fonctionnalités avancées telles que l'inspection de surface laser, le contrôle des procédés, le reconditionnement des plaquettes en temps réel et le contrôle de la température. L'unité d'inspection de surface laser permet à l'opérateur de détecter toute irrégularité dans la surface de la plaquette, tandis que la machine de contrôle de processus suit l'ensemble du processus et surveille les performances de l'outil à tout moment. La capacité de reconditionnement des plaquettes en temps réel permet de régler rapidement les opérations de nappage ou de polissage, ce qui améliore la qualité du procédé et augmente le débit. Enfin, l'actif de régulation de température permet un contrôle précis et précis de la température, ce qui permet une meilleure homogénéité et cohérence des plaquettes.