Occasion SPEEDFAM 18B-4L / 16B-5L #9208824 à vendre en France
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ID: 9208824
Style Vintage: 1982
Double side lapper
Wafer position correcting carrier
Motor
1982 vintage.
SPEEDFAM 18B-4L/ 16B-5L est un équipement de broyage, de rodage et de polissage de plaquettes conçu pour un usage commercial. C'est un système avancé qui offre une finition de surface de haute précision pour une variété d'applications dans l'industrie des semi-conducteurs. Cette unité haute performance est composée de plusieurs composants, y compris des broyeurs, des loupes, des polisseurs, des lames tampons et des plaques composées, qui sont tous contrôlés dans un processus entièrement automatisé. Le processus de meulage commence par une meule à grande vitesse qui tourne jusqu'à 4 500 tr/min pour éliminer avec précision et efficacité l'excès de matière de la surface de la plaquette. Après broyage, la surface est préparée pour le rodage, qui est effectué à l'aide d'une unité de rodage rotative optimisée qui utilise des pâtes et des compresses de diamant pour assurer une planéité et un parallélisme optimaux et cohérents de la surface de la plaquette. Le processus de nappage est suivi par une machine de polissage spécialisée qui a une large gamme de réglages pour permettre la planarisation précise et la finition de surface. Cet outil de polissage très précis peut atteindre des échelons marginaux allant jusqu'à 0,2 μ m et une texture de surface jusqu'à 0,052 μ m (Ra). L'actif utilise ensuite des lames tampons, des plaques composées et d'autres outils spécialisés pour obtenir une finition de surface très polie et réfléchissante. 18B-4L/ 16B-5L offre également une variété de fonctionnalités avancées telles que des recettes de processus personnalisables, un contrôle précis du broyage, des temps de nappage et de polissage, des fonctions de suivi de charge et de diagnostic, la traçabilité des produits, et plus encore. Ceci, ainsi que le degré élevé de précision et de répétabilité du modèle, en fait une solution appropriée pour obtenir des résultats de haute qualité pour une variété de matériaux et d'applications.
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