Occasion SPEEDFAM 20B-5L #9363669 à vendre en France
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ID: 9363669
Style Vintage: 2013
Double sided lapping machine
Workpiece dimensions:
Maximum diameter: 410 mm
Minimum thickness: 0.5 mm
Maximum thickness: 30 mm
Maximum down force: 684 kg
Down force range: 0 to 684 kg
Plate dimensions: φ 1355 x φ 458 x 50 t
Upper plate: 434 kg
Upper ring assembly: 460 kg
Lower plate: 18-60 RPM
Frequency: 50/60 Hz
(5) Carriers: 20B
Main cylinder: 180 φ x 500 st
Breaker capacity: 125/75 Amps
Main motor: 15 kW
Ring gear motor: 3.7 kW
Sun gear motor: 1.5 kW
Ring gear / Sun gear motor (Up / Down): 0.4 kW
Slurry pump: 0.4 kW
Agitation motor: 0.1 kW
Air pressure: 5-6 kgf/cm², 127 N1/min (5.5 kgf/cm²)
Carrier / Ring gear / Sun gear
M: 3 / 3 / 3
Z: 170 / 472 / 132
PCD: 510 / 1416 / 396
Power supply: 200/380 V, 50/60 Hz, 21.1 kW, 3 Phase
2013 vintage.
SPEEDFAM 20B-5L est un équipement polyvalent de broyage, de rodage et de polissage des plaquettes de précision. Il est conçu pour produire une surface de haute qualité, ultra-plate, et précisément texturée sur une variété de matériaux et de substrats. Le système utilise une unité d'auto-chargement/déchargement unique, dynamique et intégrée à une machine de broyage et de polissage de 20 pouces pour traiter rapidement et avec précision les substrats. Il intègre une surface de broyage et de rodage en diamant artificiel spéciale pour les résultats de broyage et de polissage plats les plus précis. La machine est équipée de systèmes avancés de refroidissement automatique à jet d'eau pour maintenir la température de travail nécessaire. 20B-5L est conçu pour être utilisé dans toute une gamme d'opérations de recherche, d'approvisionnement et de fabrication nécessitant un broyage, un rodage et un polissage précis des plaquettes. Sa conception modulaire et multifonctionnelle offre une flexibilité maximale pour produire une gamme de substrats incluant le silicium, le silicium polycristallin, le dioxyde de silicium, l'arséniure de gallium, l'oxyde d'aluminium et le verre de quartz. Il est également adapté pour la production de haute précision de micro-électronique ou MEMS. L'outil est équipé d'une lecture numérique 2 axes de haute qualité, d'un servomoteur commandé par PLC et d'un outil de collecte de données intégré permettant un contrôle et un suivi précis du fonctionnement de chaque cycle. En outre, il offre une gamme de dispositifs de sécurité avancés pour la sécurité de l'utilisateur, tels qu'un bouton d'arrêt d'urgence, des dispositifs de sécurité de capot et des portes de garde résistantes à la défaillance. SPEEDFAM 20B-5L est équipé d'une variété de ressources de productivité incluant une suite complète de fonctions d'optimisation des processus, permettant d'obtenir les résultats les plus précis. Il dispose d'un contrôle de fonctionnement multi-étapes pour assurer des résultats uniformes, un broyage optimal, des nappes et un polissage. Il prend également en charge une gamme complète de paramètres de processus, tels que la pression du lubrifiant, la vitesse de broyage et de polissage, la vitesse d'enlèvement du matériau, la rupture des bords, etc., pour fournir des résultats précis à chaque cycle. Enfin, 20B-5L offre un design ergonomique, permettant un fonctionnement et une configuration faciles. Il est également compact et économique, ce qui le rend parfait pour des espaces de production serrés avec des budgets limités. Avec toutes ces fonctionnalités, SPEEDFAM 20B-5L est le choix idéal pour les opérations de recherche et de production nécessitant un broyage de précision, un rodage et un polissage.
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