Occasion SPEEDFAM 20B-5L #9372666 à vendre en France
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ID: 9372666
Style Vintage: 2013
Double sided lapping machine
Maximum down force: 648 kg
Down force range: 0-684 kg
Plate dimension: φ 1355 mm x φ 458 mm x 50 t
Upper plate: 434 kg
Lower plate assembly: 460 kg
Lower plate RPM: 18-60 RPM, 50/60 Hz
(5) Carriers: 20B
Main cylinder: φ 180 mm x 500 St
Air supply: 6 kg/cm², 127 Nl/min (5.5 kg/cm²)
Work piece dimension:
Maximum diameter: φ 410 mm
Minimum thickness: 0.5 mm
Maximum thickness: 30 mm
Carrier / Ring gear / Sun gear:
M: 3 / 3 / 3
Z: 170 / 472 / 132
PCD: 510 / 1416 / 396
Breaker capacity: 125/75 A
Main drive motor: 15 kW
Ring gear drive motor: 3.7 kW
Sun gear drive motor: 1.5 kW
Ring gear / Sun gear motor (Up / Down): 0.4 kW
Slurry pump, agitation motor: 0.4 kW, 0.1 kW
Power requirement: 220/380 V, 3-Phase, 21.1 kW
2013 vintage.
SPEEDFAM 20B-5L est un équipement de wafering, de nappage et de polissage de précision conçu pour l'industrie des semi-conducteurs. Le système se compose d'une tête de robot à 5 axes, d'un étage robotique pour la manipulation des plaquettes jusqu'à 20 pouces de diamètre, d'une table de broyage à haute température et d'une plaque de couchage. Le bras robot a une vitesse maximale de 140 cm/sec et peut gérer toutes sortes d'opérations de broyage de grossière à fine. L'étage robotique est équipé d'un moteur linéaire de haute précision pour fournir un mouvement précis et des résultats précis. Grâce à une unité de vision automatisée et à un logiciel de pointe, 20B-5L est capable d'opérations de broyage et de rodage de surface rapides et fiables. La table de broyage est capable de fournir une gamme de forces de broyage, de douce à agressive. Une fonctionnalité programmable, la table peut être réglée pour fournir des niveaux de force spécifiques selon l'application. La table est également équipée d'un ventilateur à haute température pour améliorer la vitesse de broyage et optimiser les performances de coupe. La plaque de rodage est équipée d'un moteur à couple élevé pour entraîner le processus de rodage, et la table de support comprend un mécanisme d'entraînement pour permettre une rotation précise des plaquettes. SPEEDFAM 20B-5L est conçu pour être utilisé dans des environnements de production difficiles, et une construction robuste assure un fonctionnement fiable même dans des conditions de travail extrêmes. La machine dispose d'une interface tactile avancée pour fournir aux utilisateurs un accès facile à toutes les opérations de l'outil. De plus, un puissant outil de contrôle informatique permet des vitesses programmables et des changements d'outillage, offrant aux utilisateurs la possibilité de personnaliser les performances de la machine selon leurs besoins exacts. 20B-5L est idéal pour les opérations de broyage, de nappage et de polissage des plaquettes de haute précision. La technologie de pointe du modèle et la construction robuste facilite une variété d'opérations de broyage et de polissage avec des tolérances serrées et une excellente finition de surface. L'équipement de vision avancé et l'interface tactile rendent également facile la configuration, le fonctionnement et la surveillance du système, contribuant ainsi à rendre le processus plus fiable et efficace.
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