Occasion SPEEDFAM 22B-5L #9276642 à vendre en France
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ID: 9276642
Double sided lapping system
(3) Motor
Touch panel
Auto thickness control.
SPEEDFAM 22B-5L est un équipement de broyage, de rodage et de polissage de plaquettes conçu pour le polissage de précision ainsi que le conditionnement et la remise en forme de divers substrats de plaquettes. C'est un système polyvalent qui peut gérer des processus complexes de finition broyage, nappage et polissage d'un large éventail de matériaux, de formes, de tailles et d'épaisseurs. 22B-5L se compose d'un certain nombre d'éléments principaux : un ensemble de broches, une meule abrasive, des plaques de rodage, des plaquettes de polissage et des porte-échantillons. La principale composante structurelle de SPEEDFAM 22B-5L est l'ensemble broche, qui comprend un moteur AC sans balais monté dans un cadre en acier qui tourne à des vitesses réglables entre 250 et 10000 tr/min. Le moteur est relié à la meule abrasive qui est enfermée dans un bouclier de protection et est située à proximité de la plaquette ou du support d'échantillon. La sélection des meules comprend des roues en résine abrasive et des roues en diamant. Les plaques de nappe sont montées au-dessus de la meule et sont constituées d'un milieu à crête fine qui est abradé contre la surface à polir à vitesse variable. Les plots de polissage sont montés sur l'extrémité de la plaque de nappage et servent à la finition et à l'affinage de la surface. Les porte-échantillons comprennent des pinces pneumatiques et manuelles, des broches de fixation réglables et un rail d'extension d'échantillon, permettant le positionnement précis et reproductible d'une plaquette le long de la surface de travail. 22B-5L est conçu pour une sécurité accrue, avec des tables antivibratoires pour la meule et le porte-échantillon, des arrêts automatiques en cas de surtension de l'unité, et une machine de commande avancée pour un contrôle précis de la vitesse sans palier et une compensation automatique des changements de charge. SPEEDFAM 22B-5L offre un fonctionnement simplifié du panneau de commande et un logiciel PC puissant, permettant une surveillance et une programmabilité améliorées des processus. La conception modulaire permet également de mettre à niveau ou d'ajouter plusieurs options, comme un outil d'inclinaison d'axe, une capacité de rotation des plaquettes et un interféromètre laser à trois axes pour la mesure des actifs. 22B-5L est un modèle idéal pour la production robuste et précise de divers composants et wafers de haute précision, permettant des finitions de surface plus propres et plus denses, des vitesses de traitement plus rapides et une meilleure définition du procédé. Cet équipement est facile à entretenir et à entretenir et produit des résultats cohérents, ce qui le rend adapté à la production à faible et à haut volume.
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