Occasion SPEEDFAM 22BF-4 #9057336 à vendre en France
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SPEEDFAM 22BF-4 est un équipement de broyage, de nappage et de polissage de plaquettes spécialement conçu pour la production de plaques de silicium et de semi-conducteurs composés. Ce système offre vitesse, précision et répétabilité pour réduire le temps précieux et les étapes pendant le processus de lithographie. Le procédé de broyage utilise une unité de commande de mouvement à trois axes pour contrôler le positionnement et le déplacement des porte-outils abrasifs rotatifs à travers la surface de la plaquette. Cette machine de commande de mouvement fournit une résolution de position de 0,001 mm (10 microns) assurant des résultats très précis et reproductibles. L'outil dispose également d'une vitesse de broche contrôlée de 200 à 10.000 tr/min, avec une vitesse d'alimentation réglable de 0,1 à 20mm/sec., permettant d'affiner le processus de broyage. Le procédé de nappage consiste en deux machines réticulées, qui sont utilisées pour le broyage planaire et le polissage de la plaquette. Avec l'utilisation d'une pompe à lisier, le matériau abrasif est pompé sur la surface de la plaquette et contrôlé simultanément en pression et en débit pour le résultat souhaité. Les machines utilisent des abrasifs diamantés pour assurer un broyage et un polissage de niveau sans gouger ou endommager la plaquette. Les deux machines à claquer ont des vitesses réglables de 150 à 7.500 tr/min permettant l'optimisation des processus. Le processus de polissage est utilisé pour lisser les bords rugueux et enlever les petites fosses et les rayures de la surface de la plaquette. L'étape de polissage utilise soit une machine de polissage mécanique chimique (CMP), soit une station de rodage, selon les exigences de rendement du produit. La machine CMP propose un polissage, un rodage et un profilage modifiés des plaquettes par rapport à la taille. Avec une pression de tête de polissage contrôlée par ordinateur, la vitesse du plateau et le temps de polissage, la machine CMP fournit une production à haut rendement avec un contrôle constant du processus de polissage. 22BF-4 a une conception d'actifs avancée qui combine des processus de broyage, de rodage et de polissage en une seule plate-forme pour une efficacité accrue. Ce modèle élimine le besoin de fonctionnement manuel et d'application de la pression technique pendant le processus. La conception globale réduit la répétition tout en fournissant des résultats de précision. En outre, l'équipement est également équipé de dispositifs de sécurité pour assurer la sécurité de l'opérateur pendant le fonctionnement. SPEEDFAM 22BF-4 est une machine de production puissante et fiable développée spécifiquement pour le broyage, le nappage et le polissage des plaquettes. Grâce à ses fonctions avancées et à sa conception du système, l'unité peut être utilisée pour produire des plaquettes reproductibles de haute qualité. C'est un outil essentiel pour augmenter l'efficacité et la sécurité de la production de plaquettes semi-conductrices.
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